在做掃描電子顯微鏡（SEM）測試時，科學(xué)指南針檢測平臺工作人員在與很多同學(xué)溝通中了解到，好多同學(xué)對sem測試不太了解，針對此，科學(xué)指南針檢測平臺團隊組織相關(guān)同事對網(wǎng)上海量知識進行整理，希望可以幫助到科研圈的伙伴們；

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掃描電鏡

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1、掃描電鏡追求固體物質(zhì)高分辨的形貌，形態(tài)圖像（二次電子探測器SEI)-形貌分析(表面幾何形態(tài)，形狀，尺寸）

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2、顯示化學(xué)成分的空間變化，基于化學(xué)成分的相鑒定---化學(xué)成分像分布，微區(qū)化學(xué)成分分析

1)用x射線能譜儀或波譜（EDS or WDS）采集特征X射線信號，生成與樣品形貌相對應(yīng)的，元素面分布圖或者進行定點化學(xué)成分定性定量分析，相鑒定。

2)利用背散射電子(BSE）基于平均原子序數(shù)(一般和相對密度相關(guān)）反差，生成化學(xué)成分相的分布圖像；

3)利用陰極熒光，基于某些痕量元素（如過渡金屬元素，稀土元素等）受電子束激發(fā)的光強反差，生成的痕量元素分布圖像。

4)利用樣品電流，基于平均原子序數(shù)反差，生成的化學(xué)成分相的分布圖像，該圖像與背散射電子圖像亮暗相反。

5)利用俄歇電子，對樣品物質(zhì)表面1nm表層進行化學(xué)元素分布的定性定理分析。

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3、在半導(dǎo)體器件（IC)研究中的特殊應(yīng)用：

1）利用電子束感生電流EBIC進行成像，可以用來進行集成電路中pn結(jié)的定位和損傷研究

2）利用樣品電流成像，結(jié)果可顯示電路中金屬層的開、短路，因此電阻襯度像經(jīng)常用來檢查金屬布線層、多晶連線層、金屬到硅的測試圖形和薄膜電阻的導(dǎo)電形式。

3）利用二次電子電位反差像，反映了樣品表面的電位，從它上面可以看出樣品表面各處電位的高低及分布情況，特別是對于器件的隱開路或隱短路部位的確定尤為方便。

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4、利用背散射電子衍射信號對樣品物質(zhì)進行晶體結(jié)構(gòu)（原子在晶體中的排列方式），晶體取向分布分析，基于晶體結(jié)構(gòu)的相鑒定。

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以上僅為科學(xué)指南針檢測平臺對網(wǎng)上資料的收集整合，故此分享給大家，希望可以幫助大家對測試更了解，如有測試需求，可以和科學(xué)指南針聯(lián)系，我們會給與您最準確的數(shù)據(jù)和最好的服務(wù)體驗，惟祝科研工作者可以更輕松的工作。

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