在做掃描電子顯微鏡（SEM）測試時，科學(xué)指南針檢測平臺工作人員在與很多同學(xué)溝通中了解到，好多同學(xué)對sem測試不太了解，針對此，科學(xué)指南針檢測平臺團(tuán)隊組織相關(guān)同事對網(wǎng)上海量知識進(jìn)行整理，希望可以幫助到科研圈的伙伴們；

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SEM的主要研發(fā)和生產(chǎn)廠家為：日本電子，日立，F(xiàn)EI公司，蔡司；常用的儀器型號如表1。

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表1 掃描電子顯微鏡常見儀器

生產(chǎn)廠家

儀器型號

日本電子

JSM-7800F

日立

SU8220、S-4800

FEI公司

Nova Nano SEM 450、Quanta FEG 450

蔡司

Gemini 300、 sigma 500

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1.日本電子掃描電子顯微鏡JSM-7800F

日本電子的掃描電子顯微鏡JSM-7800F，配置了超級混合物鏡，對樣品沒有局限性，任何樣品都可以得到超高分辨率的圖像，可以實(shí)現(xiàn)低加速電壓下的高分辨率，電子源采用浸沒式（In-lens）肖特基場發(fā)射電子槍，能以大束流電流進(jìn)行穩(wěn)定的分析。具有自動調(diào)整功能，可以實(shí)現(xiàn)自動合軸、聚焦、消像散、反差、亮度調(diào)節(jié)等功能。

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2.日立掃描電子顯微鏡SU8220

日立的掃描電子顯微鏡SU8200，采用低噪音冷場發(fā)射電子槍，可獲得高穩(wěn)定束流，采用電子束在Flashing后出現(xiàn)的高亮度穩(wěn)定區(qū)域作為穩(wěn)定觀察的區(qū)間，使得低加速電壓條件下兼?zhèn)涓叻直嬗^察和分析的最佳性能。另外，通過優(yōu)化電子光學(xué)系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)1 kV條件下分辨率提高到0.7 nm，放大倍率從100萬倍提高到200萬倍，從而具有超高分辨的能力。

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3.FEI公司掃描電子顯微鏡Nova Nano 450

FEI的掃描電子顯微鏡Nova Nano 450，其具有高真空和低真空兩種真空模式，從而滿足不同的拍攝需求；利用FEI Helix探測技術(shù)將浸入式透鏡和低真空掃描電鏡兩種技術(shù)成功地組合在一起，可在低真空環(huán)境下有效抑制非導(dǎo)電材料的荷電積累效應(yīng)，對污染性樣品進(jìn)行超高分辨率表征，同時可利用電子束進(jìn)行納米結(jié)構(gòu)沉積的氣體化學(xué)技術(shù)。

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4.蔡司掃描電子顯微鏡Sigma 300

蔡司的掃描電子顯微鏡Sigma 300，利用Everhart-Thornley 二次電子和In-lens二次電子雙探測器獲取形貌和成份信息，配置了新一代的二次電子探測器，獲取高達(dá)50%的信號圖像。在可變壓力模式下利用Sigma創(chuàng)新的C2D和可變壓力探測器，在低真空環(huán)境下獲取高達(dá)85%對比度的銳利的圖像，在高真空模式下利用創(chuàng)新的ETSE和In-lens探測器獲取表面形貌信息和超高分辨率表面信息。獲益于8.5 mm 短的分析工作距離和35°夾角，獲取完整且無陰影的分析結(jié)果。對于磁性樣品，基于Gemini技術(shù)對磁性樣品成像也能獲得出色的效果。

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