特迪亞亨特利傳感器120-30T
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云母片的相對介電常數(shù)是空氣的7倍, 其擊穿電壓不小于1000 kV/mm, 而空氣的僅為3kV/mm. 因此有了云母片, 極板間起始距離可大大減小.同時, 式(5-5)中的(dg/ε0εg)項(xiàng)是恒定值, 它能使傳感器的輸出特性的線性度得到改善.
一般變極板間距離電容式傳感器的起始電容在 20~100pF之間, 極板間距離在25~200μm的范圍內(nèi), 最大位移應(yīng)小于間距的1/10, 故在微位移測量中應(yīng)用最廣.?
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