光掩膜又稱光罩，是微電子制造中光刻工藝所使用的圖形母版，由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成掩膜圖形，并通過曝光將圖形轉(zhuǎn)印到產(chǎn)品基板上。如果掩模具有缺陷，則可能會(huì)在晶圓上印刷不規(guī)則。因此，捕獲掩模缺陷很重要。光掩模包含集成電路圖形。隨著晶體管越來越小，光掩模也越來越復(fù)雜，以確保將圖形精確轉(zhuǎn)印到硅晶圓上。相應(yīng)地，光掩模的制作過程日趨先進(jìn)，即便光掩模存在細(xì)微的缺陷，也可能影響晶圓器件的性能。確保光掩模圖形準(zhǔn)確且零缺陷至關(guān)重要，對(duì)高端芯片更是如此。

在半導(dǎo)體器件生產(chǎn)中，零缺陷光罩（也稱為光掩?；蜓谀０澹┦菍?shí)現(xiàn)芯片制造高良率的關(guān)鍵因素之一，因?yàn)楣庹稚系娜毕莼驁D案位置錯(cuò)誤會(huì)被復(fù)制到產(chǎn)品晶圓上面的許多芯片中。光罩制造采用的是光罩基板，即鍍了吸收薄膜的石英基板。光罩檢測(cè)產(chǎn)品能夠協(xié)助光罩基板、光罩廠和IC制造商識(shí)別光罩缺陷，降低良率風(fēng)險(xiǎn)。

光掩模檢測(cè)系統(tǒng)行業(yè)發(fā)展主要特點(diǎn)

行業(yè)技術(shù)壁壘高
國外企業(yè)占據(jù)主導(dǎo)地位。

行業(yè)集中度高

TOP5光掩模檢測(cè)系統(tǒng)企業(yè)占據(jù)全球95%以上的市場(chǎng)份額。

下游產(chǎn)業(yè)陸續(xù)向國內(nèi)轉(zhuǎn)移，掩膜版進(jìn)口替代步伐加快

中國已成為全球最大的半導(dǎo)體消費(fèi)市場(chǎng)。隨著國內(nèi)制造業(yè)環(huán)節(jié)快速發(fā)展，以及國內(nèi)巨大的消費(fèi)市場(chǎng)和勞動(dòng)力人口優(yōu)勢(shì)，全球掩膜版下游應(yīng)用的主要市場(chǎng)將加快向國內(nèi)轉(zhuǎn)移，世界市場(chǎng)份額不斷向中國集中。光掩模檢測(cè)系統(tǒng)也逐步向中國集中。

下游電子元器件發(fā)展迅速，拉動(dòng)光掩模檢測(cè)系統(tǒng)市場(chǎng)需求上升

隨著電子信息技術(shù)的日新月異，5G技術(shù)和人工智能帶動(dòng)下游終端電子產(chǎn)品的更新?lián)Q代速度越來越快，以平板電視、筆記本電腦、數(shù)碼相機(jī)、智能手機(jī)等產(chǎn)品為主的消費(fèi)類電子產(chǎn)品產(chǎn)銷量持續(xù)增長，為平板顯示、半導(dǎo)體芯片、觸控、電路板等電子元器件相關(guān)行業(yè)帶來巨大的市場(chǎng)空間，間接帶動(dòng)了掩膜版行業(yè)的發(fā)展。同時(shí)，電子元器件制造商為了滿足其下游產(chǎn)品的多功能、小型化、便攜性等需求，不斷加大技術(shù)投入，開發(fā)新材料、新技術(shù)以及研發(fā)新產(chǎn)品，這也為掩膜版行業(yè)的發(fā)展帶來了更多市場(chǎng)需求。

市場(chǎng)規(guī)模分析光掩模檢測(cè)系統(tǒng)收入分析

2020年，全球光掩模檢測(cè)系統(tǒng)市場(chǎng)收入達(dá)到了975.03百萬美元，預(yù)計(jì)2027年將達(dá)到1550.24百萬美元，年復(fù)合增長率（CAGR）為6.51%（2021-2027）。未來幾年，本行業(yè)具有很大不確定性，本文的2021-2027年的預(yù)測(cè)數(shù)據(jù)是基于過去幾年的歷史發(fā)展、行業(yè)專家觀點(diǎn)、以及本文分析師觀點(diǎn)，綜合給出的預(yù)測(cè)。

根據(jù)恒州博智研究中心數(shù)據(jù)未來6年，我國光掩模檢測(cè)系統(tǒng)市場(chǎng)將保持增長態(tài)勢(shì)，預(yù)計(jì)至?2027年我國市場(chǎng)規(guī)模將增長至5.3億美元，全國銷量128臺(tái)；未來6年我國市場(chǎng)復(fù)合增長率約為9.69%，屆時(shí)全球占比將達(dá)到34.16%。

全球及中國主要光掩模檢測(cè)系統(tǒng)供應(yīng)商包括KLA-Tencor、Applied Materials、Lasertec、NuFlare、蔡司、Advantest等。2020年全球前6大光掩模檢測(cè)系統(tǒng)廠商占據(jù)了?96%的市場(chǎng)份額。其中KLA-Tencor是全球最大的光掩模檢測(cè)系統(tǒng)廠商，市場(chǎng)占比為61.09%，其2020年光掩模檢測(cè)系統(tǒng)的收入約6億美元。市場(chǎng)壁壘較高，未來幾年行業(yè)競(jìng)爭(zhēng)格局不會(huì)出現(xiàn)極端變化，但仍有可能出現(xiàn)其他跨國企業(yè)分食市場(chǎng)。

光掩模檢測(cè)系統(tǒng)行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈簡(jiǎn)介

上游行業(yè)

直接影響光掩模檢測(cè)系統(tǒng)的價(jià)格波動(dòng)。

下游行業(yè)

光掩模檢測(cè)系統(tǒng)下游行業(yè)平板顯示行業(yè)、半導(dǎo)體行業(yè)、觸控行業(yè)、電路板行業(yè)中的柔性電路板行業(yè)正處于快速發(fā)展期，行業(yè)發(fā)展前景廣闊，將直接帶動(dòng)中國大陸掩膜版市場(chǎng)需求的快速上升。光掩模檢測(cè)系統(tǒng)行業(yè)作為國家戰(zhàn)略支持產(chǎn)業(yè)的關(guān)鍵配套產(chǎn)業(yè)之一，面臨著巨大的發(fā)展空間。

延伸報(bào)告：【2022-2028全球及中國光掩模檢測(cè)系統(tǒng)行業(yè)研究及十四五規(guī)劃分析報(bào)告?】

本報(bào)告研究“十三五”期間全球及中國市場(chǎng)光掩模檢測(cè)系統(tǒng)的供給和需求情況，以及“十四五”期間行業(yè)發(fā)展預(yù)測(cè)。

重點(diǎn)分析全球主要地區(qū)光掩模檢測(cè)系統(tǒng)的產(chǎn)能、銷量、收入和增長潛力，歷史數(shù)據(jù)2017-2021年，預(yù)測(cè)數(shù)據(jù)2022-2028年。

本文同時(shí)著重分析光掩模檢測(cè)系統(tǒng)行業(yè)競(jìng)爭(zhēng)格局，包括全球市場(chǎng)主要廠商競(jìng)爭(zhēng)格局和中國本土市場(chǎng)主要廠商競(jìng)爭(zhēng)格局，重點(diǎn)分析全球主要廠商光掩模檢測(cè)系統(tǒng)產(chǎn)能、銷量、收入、價(jià)格和市場(chǎng)份額，全球光掩模檢測(cè)系統(tǒng)產(chǎn)地分布情況、中國光掩模檢測(cè)系統(tǒng)進(jìn)出口情況以及行業(yè)并購情況等。

此外針對(duì)光掩模檢測(cè)系統(tǒng)行業(yè)產(chǎn)品分類、應(yīng)用、行業(yè)政策、產(chǎn)業(yè)鏈、生產(chǎn)模式、銷售模式、行業(yè)發(fā)展有利因素、不利因素和進(jìn)入壁壘也做了詳細(xì)分析。

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