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供應(yīng)商：廣州洋奕電子科技有限公司

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然而，雖然 EUV 光刻機(jī)是荷蘭的阿斯麥公司生產(chǎn)的，但它也不過(guò)就是一個(gè)組裝廠，只有 15% 的零件是自主生產(chǎn)的，其他 85% 的零件依靠進(jìn)口。又因?yàn)槊绹?guó)能源部擁有光刻機(jī)幾乎所有的核心專利，所以，阿斯麥生產(chǎn)光刻機(jī)，需要美國(guó)能源部的授權(quán)。這就是為什么假如美國(guó)政府說(shuō)不準(zhǔn)把光刻機(jī)賣給中國(guó)，荷蘭的阿斯麥公司只能聽(tīng)它的原因。可以說(shuō)，一臺(tái) EUV 光刻機(jī)是七、八個(gè)國(guó)家圍成一個(gè)圈，卡著阿斯麥的脖子。

中國(guó)想要突破技術(shù)封鎖，獨(dú)立生產(chǎn)光刻機(jī)，就需要在全部三大關(guān)鍵部分上實(shí)現(xiàn)完全的自主創(chuàng)新。我們現(xiàn)在只能說(shuō)，在第一個(gè)光源部分，我們看到了一點(diǎn)點(diǎn)希望。

2010 年，斯坦福大學(xué)的華人教授，同時(shí)也是清華杰出訪問(wèn)教授趙午與他的博士生一起提出了一種產(chǎn)生極深紫外光源的新原理，這種原理被稱為“穩(wěn)態(tài)微聚束”，英文簡(jiǎn)稱 SSMB，就是利用巨大的粒子加速器來(lái)產(chǎn)生極深紫外光。2017年，清華大學(xué)的唐傳祥教授團(tuán)隊(duì)與德國(guó)的同行一起合作，完成了實(shí)驗(yàn)的理論分析和物理設(shè)計(jì)，并開(kāi)發(fā)測(cè)試實(shí)驗(yàn)的激光系統(tǒng)，進(jìn)行了一定的原理驗(yàn)證。2021 年2 月，他們的論文在《自然》雜志上成功發(fā)表[1]，唐教授的博士生鄧秀杰是第一作者，唐教授和德國(guó)亥姆霍茲柏林材料與能源研究中心的另外一位教授是通訊作者。這里順便提一下學(xué)術(shù)圈的一般規(guī)則，第一作者一般是指該研究課題中貢獻(xiàn)最大的人，而通訊作者則是課題的負(fù)責(zé)人和成果受益人。