Keysight/B1500A 半導(dǎo)體器件參數(shù)分析儀
?Keysight B1500A 半導(dǎo)體器件分析儀是一款具有 10 插槽配置的模塊化儀器,可支持 IV 和 CV 測(cè)量及快速高電壓脈沖測(cè)量。它采用常見的 Microsoft ? Windows ? 用戶界面,可支持 Agilent EasyEXPERT 軟件。該軟件為器件表征提供更直觀的、面向任務(wù)的新方法。Keysight B1500A 具有極的低電流、低電壓和集成電容測(cè)量能力,因此可滿足廣泛的半導(dǎo)體器件表征需求(IC-CAP 支持 B1500A)。它還是一款用于非易失存儲(chǔ)單元表征和高速器件表征(包括* NBTI 和 RTS 噪聲(RTN)測(cè)量)的出色解決方案。
特性和優(yōu)勢(shì)
優(yōu)異的 IV 測(cè)量性能:0.1 fA / 0.5 ?V 測(cè)量分辨率
- 測(cè)量特性包括單通道和多通道掃描、時(shí)間采樣、列表掃描、準(zhǔn)靜態(tài) CV(使用 SMU)、直接控制和針對(duì) HV-SPGU 的任意線性波形生成(ALWG)GUI。
可選的集成電容模塊支持高達(dá) 5 MHz 的 CV 測(cè)量
基于定位器的可選 CV-IV 開關(guān)解決方案提供 0.5 ?V 的電壓測(cè)量分辨率和 10 fA、1 fA 或 0.1 fA 的電流測(cè)量分辨率能力
使用內(nèi)置半自動(dòng)晶圓探頭驅(qū)動(dòng)程序可輕松自動(dòng)完成測(cè)試;在快速測(cè)試模式下,用戶無需編程即可排列測(cè)試順序
可選的高電壓半導(dǎo)體脈沖發(fā)生器單元(HV-SPGU)具有 10 ns 的可編程脈沖寬度和 +/- 40 V(80 V 峰峰值)輸出
可選的波形發(fā)生器/快速測(cè)量單元(WGFMU)提供 ALWG 和快速電流或電壓測(cè)量能力
10 ns 脈沖 IV 解決方案,用于表征高 k 柵極電介質(zhì)和 SOI(絕緣硅)晶體管
典型測(cè)試模式可提供 4155/4156 界面的外觀、風(fēng)格和術(shù)語,同時(shí)通過充分利用 Microsoft ? Windows ? GUI 特性可加強(qiáng)用戶交互
