隨著經(jīng)濟(jì)快速增長，半導(dǎo)體工業(yè)也隨之不斷發(fā)展，真空設(shè)備在半導(dǎo)體行業(yè)中的應(yīng)用也更加廣泛。

半導(dǎo)體設(shè)備中常見的真空泵為油封式機(jī)械泵，干式真空泵，羅茨真空泵，分子真空泵，擴(kuò)散泵和冷凝泵等。真空泵運(yùn)行情況的優(yōu)劣直接影響設(shè)備的經(jīng)濟(jì)性和安全性。

本文從常見半導(dǎo)體設(shè)備真空泵的故障及維修辦法等方面入手，對常見泵的故障現(xiàn)象和維修手段進(jìn)行簡要總結(jié)，可有效節(jié)約維修時間，及時發(fā)現(xiàn)故障和處理，保證設(shè)備安全經(jīng)濟(jì)運(yùn)行。

半導(dǎo)體設(shè)備真空泵常見故障分析及維修辦法如下表格：

本文聲明 |內(nèi)容來源于《半導(dǎo)體設(shè)備真空泵常見故障分析及維修》，作者：劉豪、張強(qiáng)、趙志昊、丁文杰，文章僅限學(xué)習(xí)交流使用?！颈酒脚_摘錄或轉(zhuǎn)載于第三方的信息（包括文章、圖片等）會標(biāo)明作品來源和作者，無法查明作者的，將標(biāo)明獲取途徑，如權(quán)利人認(rèn)為內(nèi)容侵犯其著作權(quán)，請書面告知，本平臺將及時審查并刪除被侵權(quán)的內(nèi)容。其他任何媒體、網(wǎng)站或個人如需轉(zhuǎn)載本平臺內(nèi)容，請注明信息來源?！?br>