????????上一篇文章中，我們了解了TEM的原理，想要了解更多，我們就得知道透射電子顯微鏡是怎么通過原理來對試樣進(jìn)行測試的，下面就跟著鑠思百小編來一起了解一下透射電子顯微鏡的結(jié)構(gòu)組成吧

????????TEM由電子光學(xué)系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、循環(huán)冷卻系統(tǒng)、供電控制系統(tǒng)。電子光學(xué)系統(tǒng)是主要部分。電子光學(xué)系統(tǒng)→電子照明系統(tǒng)、試樣室、成像放大系統(tǒng)、觀察與記錄系統(tǒng)。

電子照明系統(tǒng)→電子槍、會聚鏡系統(tǒng)（為成像提供亮度高、相干性好的照明光源）

電子槍：由陰極、柵極、陽極組成，陰極發(fā)射電子形成高速電子流。有的六硼化鑭LaB6、場發(fā)射電子槍，其各種性能優(yōu)于鎢絲三級電子槍。

聚光鏡：會聚電子束、控制照明孔徑角、電流密度、光斑尺寸。高性能電鏡采用雙聚光鏡，第一聚光鏡為短焦距強(qiáng)激磁透鏡，使照明束直徑降為0.2~0.75μm；第二聚光鏡為長焦距磁透鏡，放大倍數(shù)一般是2倍，所以照在式樣上的束徑增為0.4~1.5μm左右。第二次透鏡下的聚光鏡光闌用來限制和改變照明孔徑角。

樣品室→樣品桿、樣品杯、樣品臺。

樣品放在直徑3mm、厚50~100μm的載網(wǎng)上，再放入樣品杯中，最后放在樣品臺上。

樣品臺的作用為承載樣品、使樣品能在物鏡極靴口內(nèi)平移、傾斜、旋轉(zhuǎn)以選擇感興趣的樣品區(qū)域進(jìn)行觀察。樣品臺有頂插式和側(cè)插式，頂入式不能傾斜、平衡性好；側(cè)入式可傾斜、平衡性差。

成像放大系統(tǒng)→物鏡、中間鏡、投影鏡。

物鏡：物鏡的分辨本領(lǐng)決定了TEM的分辨本領(lǐng)，所以物鏡采用強(qiáng)激磁、短焦距透鏡減少像差、借助孔徑不同的物鏡光闌和消像散器和冷阱降低球差，改變襯度消除像散，防止污染以獲得最佳分辨本領(lǐng)。一般放大倍數(shù)為100~300倍，高質(zhì)量分辨率可達(dá)0.1nm。物鏡后的選區(qū)光闌作用為減小物鏡的球差、像散、色差，提高圖像襯度。

中間鏡：操作過程中主要利用中間鏡的可變倍率調(diào)節(jié)TEM放大倍數(shù)。不會影響清晰度。中間鏡是弱激磁長焦距變倍透鏡，可在0~20倍范圍內(nèi)調(diào)節(jié)。

????????以上就是鑠思百小編整理的有關(guān)透射電子顯微鏡的結(jié)構(gòu)組成的知識，如果有其他疑問或者測試需求，可以網(wǎng)絡(luò)咨詢鑠思百檢測實驗室技術(shù)工程師。

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