? ? ?半導(dǎo)體設(shè)備屬于精密設(shè)備，一旦出現(xiàn)故障會(huì)直接影響整個(gè)企業(yè)的生產(chǎn)進(jìn)程，因此需要定期進(jìn)行維修保養(yǎng)，防止出現(xiàn)故障發(fā)生導(dǎo)致停產(chǎn)，對企業(yè)造成較為嚴(yán)重的經(jīng)濟(jì)損失。

氣動(dòng)起重氣墊——半導(dǎo)體設(shè)備檢修工具

? ?氣動(dòng)起重氣墊利用空氣懸浮在地面上，與地面不接觸，并且氣源分布均勻，防止半導(dǎo)體設(shè)備受到振動(dòng)和沖擊，同時(shí)保護(hù)地面不受損傷，可以實(shí)現(xiàn)精確的位置控制。

資料參考：http://www.lhqzby.com/qzbysb/qidianche/