硅烷尾氣處理介紹：

尾氣處理方法：

PECVD硅烷尾氣的處理方法主要有兩種，即催化燃燒法和吸附法。

（1）催化燃燒法（CatalyticCombustion）在催化劑的作用下使廢氣中的碳?xì)浠衔锖脱踹M(jìn)行化學(xué)反應(yīng)生成CO2和H2。反應(yīng)式如下所示：C+O2=點(diǎn)燃=CO2+H2O2=催化劑→O3

（2）吸附法（SilicaAdsorption）

活性炭對有機(jī)廢氣有良好的吸附能力。其原理是：在高溫高壓的條件下將氣體分子吸入活性炭孔中，使其被吸附而凈化。該方法適用于含低濃度烴類、鹵代烴、硫醇類等有毒有害氣體的治理。

其反應(yīng)式為：

H2S+CH4→CCl3+3HClSO2、NOX等污染物經(jīng)活性炭處理后可轉(zhuǎn)化為無害物質(zhì)或變成水蒸汽揮發(fā)掉；對于苯系物可將其氧化成苯胺鹽，然后回收利用；同時也可用于脫除重金屬離子如汞、鎘、鉛等以及硫化氫等惡臭成分；此外還可用于去除揮發(fā)性有機(jī)物如VOCs等的回收再利用。

該方法的優(yōu)點(diǎn)是投資少，操作簡便且運(yùn)行費(fèi)用較低；缺點(diǎn)是設(shè)備龐大且占地面積多，需配備專門的煙道系統(tǒng)及相應(yīng)的除塵設(shè)備。