真空泵利用泵腔容積的周期性變化來完成吸氣和排氣過程的一種真空泵，氣體在排出前被壓縮。這種泵分為往復(fù)式及旋片式兩種：

（1） 往復(fù)式真空泵：是利用泵腔內(nèi)活塞做往復(fù)式運(yùn)動(dòng)，將氣體吸入、壓縮并排出。因此，又稱為活塞式真空泵。

（2） 旋片式真空泵：是利用泵腔內(nèi)活塞做旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，將氣體吸入、壓縮并排出。