概述：在流體力學(xué)及空氣動(dòng)力研究中，我們經(jīng)常需要測(cè)量瞬態(tài)變化的壓力，諸如航發(fā)控制、風(fēng)洞試驗(yàn)、飛行風(fēng)阻、機(jī)載液壓系統(tǒng)；船舶水動(dòng)力、爆炸沖擊波等。下面就國(guó)內(nèi)自主研發(fā)的MEMS壓阻式高頻壓力傳感器作以介紹。

一、

壓力傳感器特點(diǎn)

01

微型薄型探頭尺寸足夠小

微型用于干燥氣體測(cè)試的傳感器最小為2.1mm直徑探針或M3.5x0.6；薄型用于干燥氣體測(cè)量的傳感器最薄為1.2mm厚度；

微型用于液體測(cè)試的傳感器最小為5mm直徑探針或M5x0.8螺紋；薄型用于液體測(cè)量的傳感器最薄為3.2mm.

02

頻響足夠高

CYG400和CYG500全系列傳感器壓力敏感元件（芯片）采用最先進(jìn)的MEMS技術(shù)設(shè)計(jì)制造，硅硅直接鍵合，齊平或準(zhǔn)齊平封裝，配套高帶寬放大電路，固有頻率在100kHz～1MHz之間，有效頻率約為固有頻率的1/3.

03

動(dòng)態(tài)壓力和穩(wěn)態(tài)壓力均可測(cè)量

壓阻效應(yīng)原理，穩(wěn)態(tài)工況時(shí)測(cè)量靜態(tài)壓力；瞬態(tài)工況下可測(cè)快速變化的動(dòng)態(tài)壓力。

04

適用場(chǎng)景

發(fā)動(dòng)機(jī)進(jìn)氣道壓力突變、喘振，葉輪機(jī)械內(nèi)流，風(fēng)洞試驗(yàn)；水泵壓力脈動(dòng)、船舶水動(dòng)力、水下航行體空泡壓力；氣體燃爆、爆震推進(jìn)、爆炸沖擊波等測(cè)試。

二、生產(chǎn)廠家介紹

01昆山雙橋傳感器測(cè)控技術(shù)有限公司

昆山雙橋傳感器是國(guó)內(nèi)最早開(kāi)發(fā)MEMS技術(shù)壓力傳感器研究的單位之一，是國(guó)內(nèi)極少幾個(gè)堅(jiān)持從MEMS力敏芯片的設(shè)計(jì)做起的傳感器企業(yè)，成立之初便確立以高、特、難、新MEMS壓力傳感器作為企業(yè)主發(fā)展方向。現(xiàn)有授權(quán)發(fā)明專利28項(xiàng)，國(guó)際發(fā)明專利1項(xiàng)；牽頭、參與制定傳感器相關(guān)國(guó)家及行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)20余項(xiàng)。公司產(chǎn)品現(xiàn)已在登月工程、航天航空領(lǐng)域（發(fā)動(dòng)機(jī)測(cè)量、各種飛行器、導(dǎo)彈）、核安全監(jiān)測(cè)、水下兵器、水面艦船、特種機(jī)器人、燃爆沖擊測(cè)量、高鐵測(cè)量、特種車輛測(cè)量、微創(chuàng)醫(yī)學(xué)、流體力學(xué)測(cè)量、空氣動(dòng)力學(xué)測(cè)量、安防等國(guó)家重大軍工、重點(diǎn)工程以及民用項(xiàng)目中廣泛應(yīng)用，其中部分產(chǎn)品填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)及國(guó)際空白，為型號(hào)研制及國(guó)產(chǎn)化做出了突出貢獻(xiàn)。企業(yè)成立20余年。

02創(chuàng)始人介紹

董事長(zhǎng)王文襄是我國(guó)傳感器界著名專家，我國(guó)第一個(gè)壓阻式壓力傳感器三主要研制人之一（1972年），是我國(guó)國(guó)內(nèi)派最早開(kāi)展MEMS微機(jī)械加工技術(shù)的高級(jí)科研人員之一（1981年），是我國(guó)“八五”傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展規(guī)劃參與編制人之一，力敏傳感器分規(guī)劃論證和編寫(xiě)主持人，參與國(guó)家“八五”、“九五”、“十五”傳感器技術(shù)攻關(guān)論證工作，是八五”、“九五”攻關(guān)專家組成員。曾經(jīng)獲得過(guò)國(guó)家技術(shù)發(fā)明二等獎(jiǎng)、國(guó)家專利優(yōu)秀獎(jiǎng)、軍隊(duì)科技進(jìn)步二等獎(jiǎng)、部科技術(shù)進(jìn)步一等獎(jiǎng)、省科技進(jìn)步三等獎(jiǎng)等數(shù)十項(xiàng)各類榮譽(yù)。國(guó)家科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)評(píng)審專家；國(guó)家重大國(guó)際科技合作項(xiàng)目評(píng)審專家；國(guó)家科技支撐項(xiàng)目評(píng)審專家；西安交通大學(xué)兼職博士生導(dǎo)師。第一個(gè)國(guó)家級(jí)傳感器專業(yè)科研院所-寶雞傳感器研究所所長(zhǎng)，國(guó)企改制后于1999年到昆山創(chuàng)業(yè)，企業(yè)至今為止已有50余年專業(yè)技術(shù)傳承。

03優(yōu)勢(shì)產(chǎn)品

公司的高頻動(dòng)態(tài)壓力傳感器（CYG400系列）和微型動(dòng)態(tài)壓力傳感器（CYG500系列）兩類產(chǎn)品國(guó)內(nèi)技術(shù)領(lǐng)先，總體上已達(dá)到國(guó)外同類產(chǎn)品先進(jìn)水平，部分關(guān)鍵技術(shù)指標(biāo)已達(dá)到國(guó)際領(lǐng)先水平。

三、部分用戶舉例

中國(guó)航天空氣動(dòng)力技術(shù)研究院

中國(guó)運(yùn)載火箭技術(shù)研究院

中國(guó)工程物理研究院

中航工業(yè)空氣動(dòng)力研究院

中國(guó)飛行試驗(yàn)研究院

中國(guó)鐵道科學(xué)研究院

中國(guó)科學(xué)院***所

中國(guó)航發(fā)***所

中國(guó)船舶科學(xué)研究中心

中國(guó)兵器工業(yè)集團(tuán)

清華大學(xué)

北京航空航天大學(xué)

哈爾濱工業(yè)大學(xué)

北京大學(xué)

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