中國晶圓加工設(shè)備行業(yè)競爭格局及運(yùn)營前景調(diào)研報告2023-2030年

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報告目錄

第一章　晶圓加工設(shè)備概述

1.1　晶圓加工設(shè)備基本介紹

1.1.1　晶圓加工設(shè)備價值

1.1.2　晶圓加工設(shè)備分類

1.1.3　晶圓加工設(shè)備特點

1.1.4　行業(yè)的上下游情況

1.2　晶圓加工相關(guān)工藝

1.2.1　晶圓加工流程

1.2.2　熱處理工藝

1.2.3　光刻工藝

1.2.4　刻蝕工藝

1.2.5　薄膜沉積工藝

1.2.6　化學(xué)機(jī)械研磨工藝

1.2.7　清洗工藝

第二章　2021-2023年中國晶圓加工設(shè)備行業(yè)發(fā)展綜述

2.1　中國晶圓加工設(shè)備行業(yè)政策環(huán)境

2.1.1　行業(yè)政策概覽

2.1.2　行業(yè)規(guī)劃政策

2.1.3　行業(yè)稅收政策

2.2　中國晶圓加工設(shè)備行業(yè)發(fā)展環(huán)境

2.2.1　半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)基本情況

2.2.2　全球半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)發(fā)展情況

2.2.3　全球半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)競爭格局

2.2.4　國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)政策分析

2.2.5　中國半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)發(fā)展情況

2.2.6　國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)發(fā)展需求

2.3　晶圓加工設(shè)備行業(yè)發(fā)展情況

2.3.1　全球晶圓加工設(shè)備市場規(guī)模

2.3.2　全球晶圓加工設(shè)備細(xì)分市場

2.3.3　中國晶圓加工設(shè)備市場規(guī)模

2.3.4　中國集成電路制造設(shè)備國產(chǎn)化潛力

2.4　中國晶圓加工設(shè)備行業(yè)投招標(biāo)情況

2.4.1　半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)招投標(biāo)情況

2.4.2　晶圓加工設(shè)備廠商中標(biāo)現(xiàn)狀

2.4.3　晶圓加工設(shè)備廠商中標(biāo)動態(tài)

2.4.4　晶圓加工設(shè)備行業(yè)投資風(fēng)險

2.5　晶圓加工設(shè)備行業(yè)發(fā)展挑戰(zhàn)及建議

2.5.1　晶圓加工設(shè)備行業(yè)發(fā)展挑戰(zhàn)

2.5.2　晶圓加工設(shè)備行業(yè)發(fā)展建議

第三章　2021-2023年中國光刻設(shè)備行業(yè)發(fā)展綜述

3.1　光刻設(shè)備概述

3.1.1　光刻機(jī)基本介紹

3.1.2　光刻設(shè)備技術(shù)介紹

3.1.3　EUV光刻機(jī)制造工藝

3.1.4　主流光刻機(jī)產(chǎn)品對比

3.2　全球光刻設(shè)備行業(yè)發(fā)展情況分析

3.2.1　全球光刻機(jī)行業(yè)發(fā)展歷程

3.2.2　全球光刻機(jī)行業(yè)上下游布局

3.2.3　全球光刻機(jī)行業(yè)銷量規(guī)模

3.2.4　全球光刻機(jī)行業(yè)市場規(guī)模

3.2.5　全球光刻機(jī)產(chǎn)品結(jié)構(gòu)分析

3.2.6　全球光刻機(jī)行業(yè)競爭格局

3.3　中國光刻設(shè)備行業(yè)發(fā)展情況分析

3.3.1　國內(nèi)光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)政策

3.3.2　國內(nèi)光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)鏈布局

3.3.3　國內(nèi)光刻機(jī)研發(fā)動態(tài)

3.3.4　光刻機(jī)行業(yè)面臨問題

3.3.5　國產(chǎn)光刻機(jī)發(fā)展建議

3.3.6　國產(chǎn)光刻機(jī)破局之路

3.4　2021-2023年中國光刻機(jī)進(jìn)出口數(shù)據(jù)分析

3.4.1　進(jìn)出口總量數(shù)據(jù)分析

3.4.2　主要貿(mào)易國進(jìn)出口情況分析

3.4.3　主要省市進(jìn)出口情況分析

第四章　2021-2023年中國薄膜沉積設(shè)備行業(yè)發(fā)展綜述

4.1　薄膜沉積設(shè)備概述

4.1.1　薄膜沉積設(shè)備定義

4.1.2　薄膜沉積設(shè)備分類

4.2　薄膜沉積設(shè)備市場發(fā)展情況

4.2.1　全球薄膜沉積設(shè)備市場規(guī)模

4.2.2　全球薄膜沉積設(shè)備競爭態(tài)勢

4.2.3　國內(nèi)薄膜沉積設(shè)備招標(biāo)情況

4.2.4　國內(nèi)薄膜沉積設(shè)備競爭態(tài)勢

4.2.5　薄膜沉積設(shè)備行業(yè)面臨挑戰(zhàn)

4.3　化學(xué)氣相沉積（CVD）設(shè)備行業(yè)發(fā)展情況

4.3.1　CVD技術(shù)概述

4.3.2　CVD設(shè)備產(chǎn)業(yè)鏈全景

4.3.3　CVD設(shè)備行業(yè)發(fā)展現(xiàn)狀

4.3.4　CVD設(shè)備行業(yè)競爭格局

4.4　薄膜沉積設(shè)備行業(yè)發(fā)展前景

4.4.1　薄膜沉積設(shè)備行業(yè)面臨機(jī)遇

4.4.2　薄膜沉積設(shè)備行業(yè)風(fēng)險分析

4.4.3　薄膜沉積設(shè)備行業(yè)發(fā)展趨勢

第五章　2021-2023年中國刻蝕設(shè)備行業(yè)發(fā)展綜述

5.1　刻蝕設(shè)備概述

5.1.1　半導(dǎo)體刻蝕技術(shù)

5.1.2　刻蝕工藝分類

5.1.3　刻蝕先進(jìn)工藝

5.1.4　刻蝕設(shè)備原理

5.1.5　刻蝕設(shè)備分類

5.1.6　刻蝕設(shè)備產(chǎn)業(yè)鏈

5.2　全球刻蝕設(shè)備行業(yè)發(fā)展情況

5.2.1　刻蝕設(shè)備市場規(guī)模

5.2.2　刻蝕設(shè)備市場結(jié)構(gòu)

5.2.3　刻蝕設(shè)備競爭格局

5.3　中國刻蝕設(shè)備行業(yè)發(fā)展情況

5.3.1　刻蝕行業(yè)驅(qū)動因素

5.3.2　刻蝕設(shè)備國產(chǎn)化情況

5.3.3　刻蝕技術(shù)水平發(fā)展?fàn)顩r

5.3.4　刻蝕領(lǐng)域技術(shù)水平差距

5.3.5　刻蝕設(shè)備國產(chǎn)替代機(jī)遇

第六章　2021-2023年中國化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備行業(yè)發(fā)展?fàn)顩r

6.1　CMP設(shè)備概述

1.1.1　CMP技術(shù)概念

6.1.1　CMP設(shè)備應(yīng)用場景

1.1.2　CMP設(shè)備基本類型

6.2　全球CMP設(shè)備行業(yè)發(fā)展情況

6.2.1　全球CMP設(shè)備市場分布

6.2.2　全球CMP設(shè)備競爭格局

6.2.3　全球CMP設(shè)備市場規(guī)模

6.3　中國CMP設(shè)備行業(yè)發(fā)展情況

6.3.1　CMP設(shè)備市場規(guī)模

6.3.2　CMP設(shè)備市場分布

6.3.3　CMP設(shè)備市場集中度

6.3.4　CMP設(shè)備行業(yè)面臨挑戰(zhàn)

6.4　CMP設(shè)備行業(yè)投資風(fēng)險

6.4.1　市場競爭風(fēng)險

6.4.2　技術(shù)創(chuàng)新風(fēng)險

6.4.3　技術(shù)迭代風(fēng)險

6.4.4　客戶集中風(fēng)險

6.4.5　政策變動風(fēng)險

6.5　CMP設(shè)備技術(shù)發(fā)展趨勢

6.5.1　設(shè)備拋光頭分區(qū)精細(xì)化

6.5.2　清洗單元多能量組合化

6.5.3　設(shè)備工藝控制智能化

6.5.4　預(yù)防性維護(hù)精益化

第七章　2021-2023年中國清洗設(shè)備行業(yè)發(fā)展綜述

7.1　清洗設(shè)備行業(yè)概述

7.1.1　半導(dǎo)體清洗介紹

7.1.2　半導(dǎo)體清洗工藝

7.1.3　清洗設(shè)備的主要類型

7.1.4　清洗設(shè)備的清洗原理

7.2　全球清洗設(shè)備行業(yè)發(fā)展情況

7.2.1　全球清洗設(shè)備行業(yè)市場規(guī)模

7.2.2　全球清洗設(shè)備行業(yè)競爭格局

7.2.3　全球清洗設(shè)備公司技術(shù)布局

7.2.4　全球清洗設(shè)備市場結(jié)構(gòu)分布

7.3　中國清洗設(shè)備行業(yè)發(fā)展情況

7.3.1　國內(nèi)清洗設(shè)備企業(yè)發(fā)展情況

7.3.2　國內(nèi)清洗設(shè)備行業(yè)技術(shù)發(fā)展

7.3.3　國內(nèi)清洗設(shè)備市場發(fā)展空間

7.4　國內(nèi)清洗設(shè)備廠商中標(biāo)情況

7.4.1　中標(biāo)情況概覽

7.4.2　長江存儲

7.4.3　華虹無錫

7.4.4　上海華力

第八章　2021-2023年中國離子注入設(shè)備行業(yè)發(fā)展綜述

8.1　離子注入機(jī)概述

8.1.1　離子注入工藝

8.1.2　離子注入機(jī)組成

8.1.3　離子注入機(jī)類型

8.1.4　離子注入機(jī)工作原理

8.2　離子注入機(jī)應(yīng)用領(lǐng)域分析

8.2.1　光伏應(yīng)用領(lǐng)域

8.2.2　集成電路應(yīng)用領(lǐng)域

8.2.3　面板AMOLED領(lǐng)域

8.3　全球離子注入設(shè)備發(fā)展?fàn)顩r

8.3.1　行業(yè)市場價值

8.3.2　全球市場規(guī)模

8.3.3　全球市場格局

8.3.4　行業(yè)進(jìn)入壁壘

8.4　國內(nèi)離子注入設(shè)備行業(yè)發(fā)展情況

8.4.1　行業(yè)相關(guān)政策

8.4.2　行業(yè)供求分析

8.4.3　行業(yè)市場規(guī)模

8.4.4　細(xì)分市場分析

8.4.5　市場競爭格局

8.4.6　行業(yè)發(fā)展趨勢

第九章　2021-2023年中國其他晶圓加工設(shè)備行業(yè)發(fā)展分析

9.1　涂膠顯影設(shè)備行業(yè)

9.1.1　涂膠顯影設(shè)備介紹

9.1.2　涂膠顯影工藝流程

9.1.3　涂膠顯影設(shè)備行業(yè)規(guī)模

9.1.4　涂膠顯影設(shè)備行業(yè)格局

9.2　去膠設(shè)備行業(yè)

9.2.1　去膠設(shè)備工藝介紹

9.2.2　去膠設(shè)備行業(yè)市場規(guī)模

9.2.3　去膠設(shè)備行業(yè)競爭格局

9.2.4　國內(nèi)去膠設(shè)備企業(yè)發(fā)展

9.3　熱處理設(shè)備行業(yè)

9.3.1　熱處理設(shè)備分類

9.3.2　熱處理設(shè)備技術(shù)特點

9.3.3　熱處理設(shè)備行業(yè)規(guī)模

9.3.4　熱處理設(shè)備競爭格局

9.3.5　熱處理設(shè)備中標(biāo)情況

第十章　2021-2023年晶圓加工設(shè)備行業(yè)下游發(fā)展分析——晶圓制造行業(yè)

10.1　晶圓制造行業(yè)概述

10.1.1　行業(yè)發(fā)展歷程

10.1.2　企業(yè)經(jīng)營模式

10.1.3　行業(yè)技術(shù)發(fā)展

10.2　全球晶圓制造業(yè)發(fā)展分析

10.2.1　全球晶圓制造業(yè)發(fā)展態(tài)勢

10.2.2　全球晶圓制造產(chǎn)能分析

10.2.3　全球晶圓代工市場規(guī)模

10.2.4　全球晶圓代工市場份額

10.2.5　全球晶圓代工企業(yè)擴(kuò)產(chǎn)

10.3　全球晶圓代工產(chǎn)業(yè)格局

10.3.1　專屬晶圓代工廠排名

10.3.2　晶圓代工TOP10企業(yè)

10.3.3　晶圓二線專屬代工企業(yè)

10.3.4　IDM兼晶圓代工企業(yè)

10.4　中國晶圓制造業(yè)發(fā)展分析

10.4.1　晶圓制造行業(yè)規(guī)模

10.4.2　晶圓制造行業(yè)產(chǎn)量

10.4.3　晶圓制造區(qū)域發(fā)展

10.4.4　晶圓制造并購分析

10.4.5　芯片制程升級需求

10.4.6　晶圓制造發(fā)展機(jī)遇

10.5　中國晶圓代工市場運(yùn)行分析

10.5.1　晶圓代工市場發(fā)展規(guī)模

10.5.2　國內(nèi)晶圓廠生產(chǎn)線發(fā)展

10.5.3　本土晶圓代工公司排名

10.5.4　晶圓代工市場發(fā)展預(yù)測

第十一章　2019-2021年國外晶圓加工設(shè)備主要企業(yè)經(jīng)營情況

11.1　應(yīng)用材料（AMAT）

11.1.1　企業(yè)發(fā)展概況

11.1.2　2021年企業(yè)經(jīng)營狀況分析

11.1.3　2022年企業(yè)經(jīng)營狀況分析

11.1.4　2023年企業(yè)經(jīng)營狀況分析

11.2　泛林半導(dǎo)體（Lam）

11.2.1　企業(yè)發(fā)展概況

11.2.2　2021年企業(yè)經(jīng)營狀況分析

11.2.3　2022年企業(yè)經(jīng)營狀況分析

11.2.4　2023年企業(yè)經(jīng)營狀況分析

11.3　東京電子（TEL）

11.3.1　企業(yè)發(fā)展概況

11.3.2　2021年企業(yè)經(jīng)營狀況分析

11.3.3　2022年企業(yè)經(jīng)營狀況分析

11.3.4　2023年企業(yè)經(jīng)營狀況分析

11.4　先晶半導(dǎo)體（ASMI）

11.4.1　企業(yè)發(fā)展概況

11.4.2　2021年企業(yè)經(jīng)營狀況分析

11.4.3　2022年企業(yè)經(jīng)營狀況分析

11.4.4　2023年企業(yè)經(jīng)營狀況分析

第十二章　2020-2023年國內(nèi)晶圓加工設(shè)備主要企業(yè)經(jīng)營情況

12.1　拓荊科技

12.1.1　企業(yè)發(fā)展概況

12.1.2　經(jīng)營效益分析

12.1.3　業(yè)務(wù)經(jīng)營分析

12.1.4　財務(wù)狀況分析

12.1.5　核心競爭力分析

12.1.6　公司發(fā)展戰(zhàn)略

12.1.7　未來前景展望

12.2　北方華創(chuàng)

12.2.1　企業(yè)發(fā)展概況

12.2.2　經(jīng)營效益分析

12.2.3　業(yè)務(wù)經(jīng)營分析

12.2.4　財務(wù)狀況分析

12.2.5　核心競爭力分析

12.2.6　公司發(fā)展戰(zhàn)略

12.2.7　未來前景展望

12.3　中微公司

12.3.1　企業(yè)發(fā)展概況

12.3.2　經(jīng)營效益分析

12.3.3　業(yè)務(wù)經(jīng)營分析

12.3.4　財務(wù)狀況分析

12.3.5　核心競爭力分析

12.3.6　公司發(fā)展戰(zhàn)略

12.3.7　未來前景展望

12.4　盛美上海

12.4.1　企業(yè)發(fā)展概況

12.4.2　企業(yè)主營產(chǎn)品

12.4.3　經(jīng)營效益分析

12.4.4　業(yè)務(wù)經(jīng)營分析

12.4.5　財務(wù)狀況分析

12.4.6　核心競爭力分析

12.4.7　公司發(fā)展戰(zhàn)略

12.4.8　未來前景展望

12.5　至純科技

12.5.1　企業(yè)發(fā)展概況

12.5.2　企業(yè)主要業(yè)務(wù)

12.5.3　經(jīng)營效益分析

12.5.4　業(yè)務(wù)經(jīng)營分析

12.5.5　財務(wù)狀況分析

12.5.6　核心競爭力分析

12.5.7　公司發(fā)展戰(zhàn)略

12.5.8　未來前景展望

12.6　萬業(yè)企業(yè)

12.6.1　企業(yè)發(fā)展概況

12.6.2　經(jīng)營效益分析

12.6.3　業(yè)務(wù)經(jīng)營分析

12.6.4　財務(wù)狀況分析

12.6.5　核心競爭力分析

12.6.6　公司發(fā)展戰(zhàn)略

12.6.7　未來前景展望

12.7　屹唐股份

12.7.1　企業(yè)發(fā)展概況

12.7.2　經(jīng)營效益分析

12.7.3　業(yè)務(wù)經(jīng)營分析

12.7.4　財務(wù)狀況分析

12.7.5　核心競爭力分析

12.7.6　公司發(fā)展戰(zhàn)略

12.7.7　未來前景展望

12.8　華海清科

12.8.1　企業(yè)發(fā)展概況

12.8.2　拋光墊產(chǎn)品發(fā)展

12.8.3　經(jīng)營效益分析

12.8.4　業(yè)務(wù)經(jīng)營分析

12.8.5　財務(wù)狀況分析

12.8.6　核心競爭力分析

12.8.7　公司發(fā)展戰(zhàn)略

12.8.8　未來前景展望

第十三章　中國晶圓加工設(shè)備行業(yè)項目投資案例

13.1　拓荊科技原子層沉積（ALD）設(shè)備研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項目

13.1.1　項目基本情況

13.1.2　項目投資概算

13.1.3　項目進(jìn)度安排

13.1.4　項目效益分析

13.2　盛美上海清洗設(shè)備研發(fā)項目

13.2.1　項目基本情況

13.2.2　項目價值分析

13.2.3　項目投資概算

13.2.4　項目效益分析

13.3　屹唐股份刻蝕設(shè)備研發(fā)項目

13.3.1　項目基本情況

13.3.2　項目進(jìn)度安排

13.3.3　項目價值分析

13.3.4　項目效益分析

13.4　華海清科化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備項目投資案例

13.4.1　項目基本情況

13.4.2　項目投資價值

13.4.3　項目投資概算

13.4.4　項目效益分析

第十四章　中贏信合對2023-2030年晶圓加工設(shè)備行業(yè)發(fā)展前景及趨勢預(yù)測

14.1　晶圓加工設(shè)備行業(yè)發(fā)展前景

14.1.1　行業(yè)面臨機(jī)遇

14.1.2　國產(chǎn)替代前景

14.1.3　下游市場趨勢

14.2　中贏信合對2023-2030年中國晶圓加工設(shè)備行業(yè)預(yù)測分析

14.2.1　2023-2030年中國晶圓加工設(shè)備行業(yè)影響因素分析

14.2.2　2023-2030年中國晶圓加工設(shè)備市場規(guī)模預(yù)測

圖表目錄

圖表　集成電路主要設(shè)備投資比例

圖表　晶圓制造主要步驟使用工藝及設(shè)備

圖表　主要晶圓加工設(shè)備介紹及其國內(nèi)外制造企業(yè)

圖表　氧化工藝的用途

圖表　光刻工藝流程圖

圖表　光刻工藝流程

圖表　等離子刻蝕原理

圖表　濕法刻蝕和干法刻蝕對比

圖表　離子注入與擴(kuò)散工藝比較

圖表　離子注入機(jī)示意圖

圖表　離子注入機(jī)細(xì)分市場格局

圖表　IC集成電路離子注入機(jī)市場格局

圖表　三種CVD工藝對比

圖表　蒸發(fā)和濺鍍PVD工藝對比

圖表　半導(dǎo)體清洗的污染物種類、來源及危害

圖表　近年與半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈相關(guān)的扶持政策

圖表　2010-2020年全球半導(dǎo)體設(shè)備銷售額

圖表　2020年全球前十大半導(dǎo)體設(shè)備廠商銷售額

圖表　半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)政策

圖表　2012-2020年中國大陸半導(dǎo)體設(shè)備銷售額

圖表　國產(chǎn)半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)銷售額

圖表　2020 年全球半導(dǎo)體設(shè)備銷售額和占比

圖表　2020年全球各類晶圓制造設(shè)備市場規(guī)模

圖表　2014-2020年全球各地區(qū)集成電路制造設(shè)備市場規(guī)模

圖表　國產(chǎn)集成電路制造設(shè)備國產(chǎn)化進(jìn)程

圖表　2021年國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備招投標(biāo)數(shù)據(jù)總覽

圖表　2022年國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備招投標(biāo)數(shù)據(jù)總覽

圖表　2021年北方華創(chuàng)中標(biāo)數(shù)據(jù)

圖表　2021年中微公司中標(biāo)數(shù)據(jù)

圖表　2021年盛美半導(dǎo)體中標(biāo)數(shù)據(jù)

圖表　2021年沈陽拓荊中標(biāo)數(shù)據(jù)

圖表　2021年屹唐半導(dǎo)體中標(biāo)數(shù)據(jù)

圖表　2021年中國電子科技集團(tuán)中標(biāo)數(shù)據(jù)

圖表　2021年至純科技中標(biāo)數(shù)據(jù)

圖表　2022年北方華創(chuàng)中標(biāo)數(shù)據(jù)

圖表　2022年中微公司中標(biāo)數(shù)據(jù)

圖表　2022年盛美半導(dǎo)體中標(biāo)數(shù)據(jù)

圖表　2022年至純科技中標(biāo)數(shù)據(jù)

圖表　EUV光刻機(jī)制造工藝難點

圖表　EUV光刻機(jī)優(yōu)勢

圖表　EUV光刻技術(shù)演示

圖表　EUV與ArF光刻機(jī)對比分析

圖表　光刻機(jī)領(lǐng)域發(fā)展歷程

圖表　2016-2025年全球光刻機(jī)年度銷量及預(yù)測

圖表　2016-2025年全球光刻機(jī)市場規(guī)模

圖表　2020年全球光刻機(jī)產(chǎn)品結(jié)構(gòu)（按銷量計）

圖表　2020年全球光刻機(jī)產(chǎn)品結(jié)構(gòu)（按營銷額計）

圖表　全球光刻機(jī)行業(yè)競爭格局

圖表　國產(chǎn)光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)鏈

圖表　國產(chǎn)光刻機(jī)破局要點

圖表　2021-2023年中國制半導(dǎo)體器件或集成電路用的分步重復(fù)光刻機(jī)進(jìn)出口總額

圖表　2021-2023年中國制半導(dǎo)體器件或集成電路用的分步重復(fù)光刻機(jī)進(jìn)出口結(jié)構(gòu)

圖表　2021-2023年中國制半導(dǎo)體器件或集成電路用的分步重復(fù)光刻機(jī)貿(mào)易順差規(guī)模

圖表　2021-2022年中國制半導(dǎo)體器件或集成電路用的分步重復(fù)光刻機(jī)進(jìn)口區(qū)域分布

圖表　2021-2023年中國制半導(dǎo)體器件或集成電路用的分步重復(fù)光刻機(jī)進(jìn)口市場集中度（分國家）

圖表　2022年主要貿(mào)易國制半導(dǎo)體器件或集成電路用的分步重復(fù)光刻機(jī)進(jìn)口市場情況

圖表　2023年主要貿(mào)易國制半導(dǎo)體器件或集成電路用的分步重復(fù)光刻機(jī)進(jìn)口市場情況

圖表　2021-2022年中國制半導(dǎo)體器件或集成電路用的分步重復(fù)光刻機(jī)出口區(qū)域分布

圖表　2021-2023年中國制半導(dǎo)體器件或集成電路用的分步重復(fù)光刻機(jī)出口市場集中度（分國家）

圖表　2022年主要貿(mào)易國制半導(dǎo)體器件或集成電路用的分步重復(fù)光刻機(jī)出口市場情況

圖表　2023年主要貿(mào)易國制半導(dǎo)體器件或集成電路用的分步重復(fù)光刻機(jī)出口市場情況

圖表　2021-2023年主要省市制半導(dǎo)體器件或集成電路用的分步重復(fù)光刻機(jī)進(jìn)口市場集中度（分省市）

圖表　2022年主要省市制半導(dǎo)體器件或集成電路用的分步重復(fù)光刻機(jī)進(jìn)口情況

圖表　2023年主要省市制半導(dǎo)體器件或集成電路用的分步重復(fù)光刻機(jī)進(jìn)口情況

圖表　2021-2023年中國制半導(dǎo)體器件或集成電路用的分步重復(fù)光刻機(jī)出口市場集中度（分省市）

圖表　2022年主要省市制半導(dǎo)體器件或集成電路用的分步重復(fù)光刻機(jī)出口情況

圖表　2023年主要省市制半導(dǎo)體器件或集成電路用的分步重復(fù)光刻機(jī)出口情況

圖表　PVD、CVD及ALD成膜效果簡示

圖表　薄膜沉積技術(shù)分類

圖表　2019-2022年全球半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備市場規(guī)模

圖表　半導(dǎo)體設(shè)備投資占比情況

圖表　2020年薄膜沉積設(shè)備市場結(jié)構(gòu)

圖表　PVD及CVD在全球設(shè)備市場合計市占率

圖表　2020年全球ALD設(shè)備市場份額

圖表　2020年全球CVD設(shè)備市場份額

圖表　2020年P(guān)VD市場份額

圖表　國內(nèi)主要晶圓制造產(chǎn)線設(shè)備招標(biāo)統(tǒng)計

圖表　CVD技術(shù)對比

圖表　CVD分類

圖表　CVD設(shè)備產(chǎn)業(yè)鏈

圖表　2017-2020年全球薄膜沉積設(shè)備市場規(guī)模及增速

圖表　2020年薄膜沉積設(shè)備細(xì)分市場結(jié)構(gòu)占比情況

圖表　2020年全球CVD設(shè)備市場份額

圖表　刻蝕是去除沉積層形成電路圖形的工藝

圖表　2021主流刻蝕工藝份額

圖表　刻蝕工藝按材料分類

圖表　干法刻蝕與濕法刻蝕對比分析

圖表　不同工藝的刻蝕次數(shù)

圖表　先進(jìn)制程刻蝕方法

圖表　刻蝕工藝技術(shù)簡易原理

圖表　電容性和電感性等離體刻蝕設(shè)備

圖表　刻蝕設(shè)備產(chǎn)業(yè)鏈

圖表　2013-2025年全球刻蝕機(jī)市場規(guī)模及預(yù)測

圖表　全球不同刻蝕介質(zhì)規(guī)模占比

圖表　2020年全球刻蝕設(shè)備競爭格局

圖表　國內(nèi)主要刻蝕設(shè)備生產(chǎn)商

圖表　各廠商刻蝕設(shè)備與刻蝕工藝對比

圖表　10 納米多重模板工藝原理，涉及多次刻蝕

圖表　刻蝕領(lǐng)域同行業(yè)公司技術(shù)對比

圖表　硅片制造過程CMP設(shè)備應(yīng)用場景

圖表　芯片制造過程CMP設(shè)備應(yīng)用場景

圖表　先進(jìn)封裝過程CMP設(shè)備應(yīng)用場景

圖表　不同類型的CMP設(shè)備

圖表　2021年年全球CMP設(shè)備區(qū)域市場分布

圖表　2021年年全球CMP設(shè)備競爭格局

圖表　2012-2021年年全球CMP設(shè)備市場規(guī)模

圖表　2012-2021年年全球CMP設(shè)備市場規(guī)模

圖表　2013-2021年年中國大陸CMP設(shè)備市場規(guī)模

圖表　2021年年全球CMP設(shè)備區(qū)域市場分布

圖表　國內(nèi)外CMP設(shè)備龍頭企業(yè)對比

圖表　半導(dǎo)體清洗中的污染物種類

圖表　清洗步驟貫穿芯片制造流程中的多個工藝環(huán)節(jié)

圖表　工藝進(jìn)步帶來清洗步驟增加

圖表　濕法清洗工藝概覽

圖表　干法清洗工藝概覽

圖表　各種清洗設(shè)備情況

圖表　單片清洗原理

圖表　槽式清洗原理

圖表　單片槽式組合清洗原理

圖表　批式旋轉(zhuǎn)噴淋清洗原理

圖表　2018-2024年全球半導(dǎo)體清洗設(shè)備市場規(guī)模及預(yù)測

圖表　2020年全球半導(dǎo)體清洗設(shè)備市場格局

圖表　全球清洗設(shè)備行業(yè)龍頭企業(yè)對比

圖表　主要清洗設(shè)備公司技術(shù)布局

圖表　2021年全球半導(dǎo)體清洗設(shè)備結(jié)構(gòu)分布

圖表　清洗設(shè)備企業(yè)幾種清洗方法對比

圖表　半導(dǎo)體清洗設(shè)備的技術(shù)路線較多

圖表　長江存儲清洗設(shè)備中標(biāo)情況

圖表　華虹無錫清洗設(shè)備中標(biāo)情況

圖表　上海華力二期清洗設(shè)備中標(biāo)情況

圖表　離子注入與擴(kuò)散工藝的比較

圖表　離子注入作為摻雜方式的優(yōu)點

圖表　離子注入利用入射離子的能量損耗機(jī)制達(dá)成靶材內(nèi)的駐留

圖表　離子注入機(jī)由5個部分構(gòu)成

圖表　離子射線系統(tǒng)由6大核心零部件構(gòu)成

圖表　射線系統(tǒng)的6大核心零部件的功能區(qū)別

圖表　離子注入機(jī)類型

圖表　離子注入機(jī)的構(gòu)成及工作原理

圖表　離子注入在N型電池上的應(yīng)用點概況

圖表　離子注入在TOPCon IBC電池背面P-N區(qū)域隔離情況

圖表　離子注入在集成電路中的應(yīng)用場景

圖表　離子注入在OLED環(huán)節(jié)的應(yīng)用

圖表　離子注入機(jī)在制程設(shè)備中的價值比重

圖表　全球離子注入機(jī)市場規(guī)模及增速

圖表　中國離子注入機(jī)行業(yè)主要政策規(guī)劃

圖表　《首臺（套）重大技術(shù)裝備推廣應(yīng)用指導(dǎo)目錄》離子注入機(jī)應(yīng)用技術(shù)指標(biāo)

圖表　2016-2020年中國離子注入機(jī)產(chǎn)量、需求量統(tǒng)計

圖表　2016-2020年中國離子注入機(jī)市場規(guī)模

圖表　2016-2020年中國離子注入機(jī)細(xì)分市場規(guī)模

圖表　2020年中國離子注入機(jī)細(xì)分市場結(jié)構(gòu)

圖表　全球離子注入機(jī)行業(yè)領(lǐng)先企業(yè)

圖表　涂膠顯影和噴膠設(shè)備介紹

圖表　光刻工藝中的涂膠顯影

圖表　2019-2023年全球涂膠顯影設(shè)備行業(yè)市場規(guī)模

圖表　2019-2023年中國涂膠顯影設(shè)備行業(yè)市場規(guī)模

圖表　全球涂膠顯影行業(yè)市場競爭格局

圖表　中國大陸涂膠顯影行業(yè)市場競爭格局

圖表　國內(nèi)企業(yè)芯源微技術(shù)進(jìn)展

圖表　主要去膠方式對比

圖表　2019-2025年全球去膠設(shè)備行業(yè)市場規(guī)模及增速

圖表　2020年全球去膠設(shè)備行業(yè)競爭格局

圖表　屹唐半導(dǎo)體去膠設(shè)備技術(shù)進(jìn)展

圖表　熱處理設(shè)備分類

圖表　2019-2025年全球半導(dǎo)體熱處理設(shè)備分類市場規(guī)模

圖表　全球熱處理設(shè)備市場格局

圖表　全球快速熱處理RTP設(shè)備市場格局

圖表　北方華創(chuàng)中標(biāo)長江存儲設(shè)備情況

圖表　長江存儲熱處理設(shè)備中標(biāo)比例

圖表　集成電路制造行業(yè)發(fā)展歷程

圖表　2020年全球前五大晶圓制造商產(chǎn)能

圖表　2014-2021年全球晶圓代工產(chǎn)值

圖表　2020年全球晶圓代工市場份額

圖表　中國大陸代工在全球晶圓代工市場份額

圖表　2021年晶圓代工巨頭擴(kuò)產(chǎn)情況

圖表　2021年全球?qū)倬A代工TOP10

圖表　2015-2021年我國集成電路制造行業(yè)市場規(guī)模

圖表　2011-2021年我國集成電路制造行業(yè)總產(chǎn)量

圖表　2021年中國集成電路七大區(qū)產(chǎn)量統(tǒng)計

圖表　中國集成電路產(chǎn)量大區(qū)占比

圖表　2021年集成電路制造并購事件

圖表　2D NAND到3D NAND的技術(shù)進(jìn)步帶來拋光步驟增加

圖表　邏輯芯片晶圓拋光次數(shù)隨技術(shù)節(jié)點進(jìn)步而增加

圖表　集成電路制造的設(shè)備投入趨勢

圖表　2018-2020年中國晶圓代工市場規(guī)模

圖表　2020年中國大陸本土晶圓代工公司營收排名榜

圖表　2020-2021年美國應(yīng)用材料綜合收益表

圖表　2020-2021年美國應(yīng)用材料分部資料

圖表　2020-2021年美國應(yīng)用材料收入分地區(qū)資料

圖表　2021-2022年美國應(yīng)用材料綜合收益表

圖表　2021-2022年美國應(yīng)用材料分部資料

圖表　2021-2022年美國應(yīng)用材料收入分地區(qū)資料

圖表　2022-2023年美國應(yīng)用材料綜合收益表

圖表　2022-2023年美國應(yīng)用材料分部資料

圖表　2022-2023年美國應(yīng)用材料收入分地區(qū)資料

圖表　2020-2021年泛林半導(dǎo)體綜合收益表

圖表　2020-2021年泛林半導(dǎo)體分部資料

圖表　2020-2021年泛林半導(dǎo)體收入分地區(qū)資料

圖表　2021-2022年泛林半導(dǎo)體綜合收益表

圖表　2021-2022年泛林半導(dǎo)體分部資料

圖表　2021-2022年泛林半導(dǎo)體收入分地區(qū)資料

圖表　2022-2023年泛林半導(dǎo)體綜合收益表

圖表　2022-2023年泛林半導(dǎo)體分部資料

圖表　2022-2023年泛林半導(dǎo)體收入分地區(qū)資料

圖表　2020-2021年東京電子綜合收益表

圖表　2020-2021年東京電子分部資料

圖表　2020-2021年東京電子收入分地區(qū)資料

圖表　2021-2022年東京電子綜合收益表

圖表　2021-2022年東京電子分部資料

圖表　2021-2022年東京電子收入分地區(qū)資料

圖表　2022-2023年東京電子綜合收益表

圖表　2022-2023年東京電子分部資料

圖表　2022-2023年東京電子收入分地區(qū)資料

圖表　2020-2021年先晶半導(dǎo)體綜合收益表

圖表　2020-2021年先晶半導(dǎo)體分部資料

圖表　2020-2021年先晶半導(dǎo)體收入分地區(qū)資料

圖表　2021-2022年先晶半導(dǎo)體綜合收益表

圖表　2021-2022年先晶半導(dǎo)體分部資料

圖表　2021-2022年先晶半導(dǎo)體收入分地區(qū)資料

圖表　2022-2023年先晶半導(dǎo)體綜合收益表

圖表　2022-2023年先晶半導(dǎo)體分部資料

圖表　2022-2023年先晶半導(dǎo)體收入分地區(qū)資料

圖表　2020-2023年拓荊科技總資產(chǎn)及凈資產(chǎn)規(guī)模

圖表　2020-2023年拓荊科技營業(yè)收入及增速

圖表　2021-2022年拓荊科技營業(yè)收入分行業(yè)、產(chǎn)品、地區(qū)

圖表　2022-2023年拓荊科技營業(yè)收入分行業(yè)、產(chǎn)品、地區(qū)

圖表　2020-2023年拓荊科技凈利潤及增速

圖表　2020-2023年拓荊科技營業(yè)利潤及營業(yè)利潤率

圖表　2020-2023年拓荊科技凈資產(chǎn)收益率

圖表　2020-2023年拓荊科技短期償債能力指標(biāo)

圖表　2020-2023年拓荊科技資產(chǎn)負(fù)債率水平

圖表　2020-2023年拓荊科技運(yùn)營能力指標(biāo)

圖表　2020-2023年北方華創(chuàng)總資產(chǎn)及凈資產(chǎn)規(guī)模

圖表　2020-2023年北方華創(chuàng)營業(yè)收入及增速

圖表　2021-2022年北方華創(chuàng)營業(yè)收入分行業(yè)、產(chǎn)品、地區(qū)

圖表　2022-2023年北方華創(chuàng)營業(yè)收入分行業(yè)、產(chǎn)品、地區(qū)

圖表　2020-2023年北方華創(chuàng)凈利潤及增速

圖表　2020-2023年北方華創(chuàng)營業(yè)利潤及營業(yè)利潤率

圖表　2020-2023年北方華創(chuàng)凈資產(chǎn)收益率

圖表　2020-2023年北方華創(chuàng)短期償債能力指標(biāo)

圖表　2020-2023年北方華創(chuàng)資產(chǎn)負(fù)債率水平

圖表　2020-2023年北方華創(chuàng)運(yùn)營能力指標(biāo)

圖表　2020-2023年中微公司總資產(chǎn)及凈資產(chǎn)規(guī)模

圖表　2020-2023年中微公司營業(yè)收入及增速

圖表　2021-2022年中微公司營業(yè)收入分行業(yè)、產(chǎn)品、地區(qū)

圖表　2022-2023年中微公司營業(yè)收入分行業(yè)、產(chǎn)品、地區(qū)

圖表　2020-2023年中微公司凈利潤及增速

圖表　2020-2023年中微公司營業(yè)利潤及營業(yè)利潤率

圖表　2020-2023年中微公司凈資產(chǎn)收益率

圖表　2020-2023年中微公司短期償債能力指標(biāo)

圖表　2020-2023年中微公司資產(chǎn)負(fù)債率水平

圖表　2020-2023年中微公司運(yùn)營能力指標(biāo)

圖表　2020-2023年盛美上?？傎Y產(chǎn)及凈資產(chǎn)規(guī)模

圖表　2020-2023年盛美上海營業(yè)收入及增速

圖表　2021-2022年盛美上海營業(yè)收入分行業(yè)、產(chǎn)品、地區(qū)

圖表　2022-2023年盛美上海營業(yè)收入分行業(yè)、產(chǎn)品、地區(qū)

圖表　2020-2023年盛美上海凈利潤及增速

圖表　2020-2023年盛美上海營業(yè)利潤及營業(yè)利潤率

圖表　2020-2023年盛美上海凈資產(chǎn)收益率

圖表　2020-2023年盛美上海短期償債能力指標(biāo)

圖表　2020-2023年盛美上海資產(chǎn)負(fù)債率水平

圖表　2020-2023年盛美上海運(yùn)營能力指標(biāo)

圖表　2020-2023年至純科技總資產(chǎn)及凈資產(chǎn)規(guī)模

圖表　2020-2023年至純科技營業(yè)收入及增速

圖表　2021-2022年至純科技營業(yè)收入分行業(yè)、產(chǎn)品、地區(qū)

圖表　2022-2023年至純科技營業(yè)收入分行業(yè)、產(chǎn)品、地區(qū)

圖表　2020-2023年至純科技凈利潤及增速

圖表　2020-2023年至純科技營業(yè)利潤及營業(yè)利潤率

圖表　2020-2023年至純科技凈資產(chǎn)收益率

圖表　2020-2023年至純科技短期償債能力指標(biāo)

圖表　2020-2023年至純科技資產(chǎn)負(fù)債率水平

圖表　2020-2023年至純科技運(yùn)營能力指標(biāo)

圖表　2020-2023年萬業(yè)企業(yè)總資產(chǎn)及凈資產(chǎn)規(guī)模

圖表　2020-2023年萬業(yè)企業(yè)營業(yè)收入及增速

圖表　2021-2022年萬業(yè)企業(yè)營業(yè)收入分行業(yè)、產(chǎn)品、地區(qū)

圖表　2022-2023年萬業(yè)企業(yè)營業(yè)收入分行業(yè)、產(chǎn)品、地區(qū)

圖表　2020-2023年萬業(yè)企業(yè)凈利潤及增速

圖表　2020-2023年萬業(yè)企業(yè)營業(yè)利潤及營業(yè)利潤率

圖表　2020-2023年萬業(yè)企業(yè)凈資產(chǎn)收益率

圖表　2020-2023年萬業(yè)企業(yè)短期償債能力指標(biāo)

圖表　2020-2023年萬業(yè)企業(yè)資產(chǎn)負(fù)債率水平

圖表　2020-2023年萬業(yè)企業(yè)運(yùn)營能力指標(biāo)

圖表　2020-2023年屹唐股份總資產(chǎn)及凈資產(chǎn)規(guī)模

圖表　2020-2023年屹唐股份營業(yè)收入及增速

圖表　2021-2022年屹唐股份營業(yè)收入分行業(yè)、產(chǎn)品、地區(qū)

圖表　2022-2023年屹唐股份營業(yè)收入分行業(yè)、產(chǎn)品、地區(qū)

圖表　2020-2023年屹唐股份凈利潤及增速

圖表　2020-2023年屹唐股份營業(yè)利潤及營業(yè)利潤率

圖表　2020-2023年屹唐股份凈資產(chǎn)收益率

圖表　2020-2023年屹唐股份短期償債能力指標(biāo)

圖表　2020-2023年屹唐股份資產(chǎn)負(fù)債率水平

圖表　2020-2023年屹唐股份運(yùn)營能力指標(biāo)

圖表　2020-2023年華海清科總資產(chǎn)及凈資產(chǎn)規(guī)模

圖表　2020-2023年華海清科營業(yè)收入及增速

圖表　2021-2022年華海清科營業(yè)收入分行業(yè)、產(chǎn)品、地區(qū)

圖表　2022-2023年華海清科營業(yè)收入分行業(yè)、產(chǎn)品、地區(qū)

圖表　2020-2023年華海清科凈利潤及增速

圖表　2020-2023年華海清科營業(yè)利潤及營業(yè)利潤率

圖表　2020-2023年華海清科凈資產(chǎn)收益率

圖表　2020-2023年華海清科短期償債能力指標(biāo)

圖表　2020-2023年華海清科資產(chǎn)負(fù)債率水平

圖表　2020-2023年華海清科運(yùn)營能力指標(biāo)

圖表　ALD設(shè)備研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項目投資預(yù)算

圖表　ALD設(shè)備研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項目建設(shè)規(guī)劃

圖表　盛美上海清洗設(shè)備研發(fā)項目投資概算

圖表　化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)產(chǎn)業(yè)化項目投資概算

圖表　中贏信合對2023-2030年中國晶圓加工設(shè)備市場規(guī)模預(yù)測