陶瓷機(jī)械手又稱陶瓷手指、陶瓷手臂、末端執(zhí)行器等，（陶瓷機(jī)械手）構(gòu)成機(jī)械臂的末端，用于在不同位置之間操作和移動(dòng)半導(dǎo)體晶片。它基本上是機(jī)器人的手，所以它的熱穩(wěn)定性和尺寸穩(wěn)定性很重要，并且不會(huì)用顆粒或化學(xué)污染物污染腔室。

陶瓷臂用于在半導(dǎo)體工藝的整個(gè)生產(chǎn)過程中操縱和攜帶硅片。它可以處理大尺寸的晶圓，并且可以設(shè)計(jì)真空通道來(lái)固定零件。

在機(jī)器人技術(shù)中，末端執(zhí)行器是一種連接到機(jī)器人手臂末端的設(shè)備或工具，手將在該末端。末端執(zhí)行器是機(jī)器人與環(huán)境交互的部分。末端執(zhí)行器的結(jié)構(gòu)以及驅(qū)動(dòng)它的編程和硬件的性質(zhì)取決于機(jī)器人將執(zhí)行的任務(wù)。如果機(jī)器人需要拿起東西，一種稱為抓手的機(jī)器人手是最有效的末端執(zhí)行器。

陶瓷機(jī)械手臂的優(yōu)點(diǎn)

1.機(jī)械陶瓷手臂是用于接取特殊產(chǎn)品，因此要求具有耐磨，耐高溫，防靜電，耐磨損等特點(diǎn)；?

2.陶瓷輕巧和不易磨損，優(yōu)于金屬，而為首選材質(zhì)；?

3.陶瓷具有絕緣、絕磁、耐高溫、耐磨損等特性，是用于取玻璃晶體等產(chǎn)品較為理想的材料；?