超純水設(shè)備在半導(dǎo)體生產(chǎn)中的優(yōu)勢(shì)
半導(dǎo)體是消費(fèi)者日常生活中不可或缺的一部分,可以在諸如電燈開(kāi)關(guān)、車(chē)庫(kù)門(mén)開(kāi)啟器和冰箱等家居用品中找到,也可以在諸如移動(dòng)電話、計(jì)算機(jī)和汽車(chē)等更復(fù)雜的產(chǎn)品中找到。
在半導(dǎo)體生產(chǎn)中,超純水用于晶圓沖洗、化學(xué)稀釋、化工機(jī)械研磨、潔凈室環(huán)境的加濕等多種場(chǎng)合,超純水的質(zhì)量直接關(guān)系到半導(dǎo)體的良品率。超純水設(shè)備采用靶向離子交換系統(tǒng)去除超純水中的硼離子,可以將硼離子含量穩(wěn)定的控制在3PPT以下,采用獨(dú)有工藝可以控制在1PPT以下,同時(shí)連續(xù)穩(wěn)定地生產(chǎn)高純度的超純水。目前廣泛應(yīng)用于晶圓、電子芯片、集成電路、精密儀器、電鍍、試劑稀釋、氟化工等領(lǐng)域。
超純水設(shè)備是采用反滲透系統(tǒng)、EDI裝置和拋光混床工藝,將水中的導(dǎo)電介質(zhì)幾乎去除,又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及有機(jī)物均去除至很低程度。超純水設(shè)備的EDI處理裝置廢水產(chǎn)出量少,不會(huì)對(duì)環(huán)境造成污染,具有非常高的環(huán)境效益和經(jīng)濟(jì)效益。精混床經(jīng)過(guò)技術(shù)升級(jí)后,無(wú)需任何多余操作即可穩(wěn)定運(yùn)行,出水水質(zhì)可以滿(mǎn)足芯片生產(chǎn)用水的相關(guān)標(biāo)準(zhǔn),降低企業(yè)的生產(chǎn)成本。
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編輯:杜鵑花 技術(shù):米
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