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TEM測試電子光學原理

2022-07-25 10:27 作者:bili_74204057874  | 我要投稿

在做透射電子顯微鏡(TEM測試)包埋切片時,科學指南針檢測平臺工作人員在與很多同學溝通中了解到,大多數(shù)同學對包埋切片不是很理解,針對此,科學指南針檢測平臺團隊組織相關同事對網(wǎng)上海量知識進行整理,希望可以幫助到科研圈的伙伴們;

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電子顯微鏡與光學顯微鏡的功能都是將細小的物體放大至肉眼可以分辨的程度,工作原理也遵循射線的阿貝成像原理,從這兩個意義上來說,兩者是相同的。它們的主要不同點是:

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(1)電子顯微鏡使用電子束作為射線源,必須在真空中工作,由于電子波長很短,其分辨率極高。

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(2)電子波通過物質(zhì),遵循布拉格定律,產(chǎn)生衍射現(xiàn)象,可借此對晶體物質(zhì)進行結構分析。

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(3)電子顯微成像的襯度機理以及電子與物質(zhì)相互作用提供的信息要比光學顯微鏡豐富的多,能利用這些信息對物質(zhì)進行深入分析。

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傳統(tǒng)透射電子顯微鏡主要是利用高能電子束與薄樣作用時產(chǎn)生的彈性散射電子和透射電子來進行成像,而與掃描電子顯微鏡技術結合而制造出的掃描透射電子顯微技術即(STEM)利用非常小的束斑(尤其是球差校正后形成的束斑)進行成像,可以獲取更高的空間分辨率和靈敏度。能量過濾技術的引入則可獲得電子圖像整個能量范圍的圖像信息,甚至可以進行化學鍵成像和帶隙成像。

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