1、結(jié)構(gòu)：

（1）旋涂腔體直徑為202毫米，適用于小尺寸碎片至160 mm 直徑圓片或 4" x 4" 方片；

（2）NPP-H（具有α晶的天然聚丙烯）的耐腐蝕結(jié)構(gòu)為整個(gè)系統(tǒng)提供更好的剛性和韌性；

（3）旋涂腔室材質(zhì)為NPP（天然聚丙烯）,特殊應(yīng)用可選用高耐化學(xué)性的PTFE（TFM?）；

（4）高品質(zhì)無(wú)縫制造表面，全工程塑料；

（5）機(jī)身尺寸為：274 (w) x 250 (h) x 451 (d) mm，適用于通風(fēng)廚和手套箱使用；

2、數(shù)字電機(jī)控制：

（1）具有數(shù)字增量速度信號(hào)的數(shù)字實(shí)時(shí)閉環(huán)控制伺服電機(jī)反饋；

（2）允許具有廣泛旋轉(zhuǎn)速度參數(shù)的用戶以更安靜的方式進(jìn)行工作/實(shí)驗(yàn)，系統(tǒng)高速運(yùn)行時(shí)更穩(wěn)定，振動(dòng)更少；

（3）提供高性能無(wú)刷電機(jī)，有著高精度的轉(zhuǎn)速（±0.1 rpm）和寬范圍的轉(zhuǎn)速（1至12,000 rpm），這是傳統(tǒng)PID電機(jī)控制器無(wú)法實(shí)現(xiàn)的；

3、程序配方數(shù)目存儲(chǔ)不設(shè)限，可用于多個(gè)步驟的配方，每個(gè)配方均適用于：

（1）旋涂時(shí)間：0.1至99999秒/步；

（2）旋涂轉(zhuǎn)速：0至12,000 rpm；

（3）旋轉(zhuǎn)方向：順時(shí)針，逆時(shí)針，順、逆時(shí)針交換攪動(dòng)；

（4）旋涂加速度：1至30,000 rpm / sec（每步可選）；

（5）真空：開/關(guān)；

（6）3個(gè)可編程的干觸點(diǎn)：例如用于分配單元，氮?dú)鈹U(kuò)散器等的自動(dòng)控制；

4、設(shè)備控制器：

（1）可拆卸的全尺寸觸摸屏，手套防護(hù)，IP 52，耐化學(xué)腐蝕；

（2）彩色觸摸屏顯示，可輕松編程速度，加速度和時(shí)間；

5、安全聯(lián)鎖：

（1）Process Chambe Lid始終為所有用戶安全鎖定，并且僅在單擊蓋子打開顯示圖標(biāo)時(shí)才能打開；

（2）電磁蓋聯(lián)鎖在打開時(shí)停止旋轉(zhuǎn)，而真空聯(lián)鎖（可編程）在沒(méi)有足夠真空或沒(méi)有真空的情況下停止旋轉(zhuǎn)，防止傷害使用者并避免基材破裂；

（3）具有國(guó)際CE標(biāo)志和過(guò)載保護(hù)的電氣安全；

6、透明蓋：

（1）透明蓋清晰可見內(nèi)部，帶有注射器支架和N2擴(kuò)散器，可手動(dòng)分配注膠以及在處理過(guò)程中進(jìn)行N2吹掃；

（2）注射器支架可幫助用戶始終在期望的相同位置和位置分配抗蝕劑/化學(xué)物質(zhì)；

（3）控制室環(huán)境對(duì)于恒定的過(guò)程結(jié)果至關(guān)重要；

（4）堅(jiān)固的自彈式蓋鉸鏈，可自動(dòng)將蓋保持在**狀態(tài)，以便輕松搬運(yùn)和卸下基板，同時(shí)確保蓋子上的殘留化學(xué)物質(zhì)都流入系統(tǒng)排水口；

7、連接：

（1）三個(gè)可編程繼電器輸出，可用于操作自動(dòng)分配系統(tǒng)，外部閥或其他附件。

（2）多種chuck可供選擇，適用用于不同尺寸的基板。

8、USB端口：可輕松上傳和下載配方以及更新軟件版本；

9、存儲(chǔ)：結(jié)構(gòu)化和受密碼保護(hù)的方案存儲(chǔ)，可輕松安全地進(jìn)行管理；

10、配套真空泵系統(tǒng)：無(wú) 油 型 220~240伏交流，50/60赫茲；

二、德國(guó)SPS POLOS勻膠機(jī)SPIN150i應(yīng)用領(lǐng)域：

1、適應(yīng)于鈣鈦礦太陽(yáng)能電池薄膜制備；

2、半導(dǎo)體芯片制造；

3、MEMS制版的表面涂覆；