《炬豐科技-半導(dǎo)體工藝》--技術(shù)資料合集二
一:《拉晶工藝》
二:《晶圓清洗要點》
三:《硅片腐蝕工藝》
四:《MOCVD工藝簡介》
五:《TSV知識介紹》
六:《單晶硅片的制造技術(shù)》
七:《自動爐管清洗機制作步驟》
八:《光罩清洗的流程以及優(yōu)化》
九:《太陽能硅片清洗機原理》
十:《濕法刻蝕工藝作業(yè)指導(dǎo)書》
十一:《砷化鎵拋光片生產(chǎn)技術(shù)工藝》
十二:《擴散爐石英爐管清洗流程》
十三:《光學(xué)鏡片清洗工藝流程》
十四:《GaAs單晶生產(chǎn)工藝》
十五:《光刻版清洗工藝及設(shè)備研究》
十六:《真空鍍膜設(shè)備》
十七:《硅片旋轉(zhuǎn)甩干機制作工藝》
十八:《光學(xué)材料的干法刻蝕》
十九:《晶圓劃片機解決方案》
二十:《鍺化硅材料導(dǎo)電特性》
二十一:《CMP后清洗技術(shù)資料》
二十二:《硅晶片研磨之后的清洗》
二十三:《鉭酸鋰工藝研究數(shù)據(jù)》
二十四:《GaN芯片制造流程》
二十五:《鋁刻蝕》
二十六:《配酸裝置操作說明》
二十七:《氮化鎵干法刻蝕工藝》
二十八:《SiC基芯片背面通孔刻蝕》
二十九:《碳化硅器件制造工藝中的干法刻蝕技術(shù)》
三十:《離子注入后氧化層BOE腐蝕工藝》
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