芯片制造中的必備要素（1）--真空
低真空 100 kPa～100 Pa，低真空通常指的是那些壓力略低于大氣壓，但仍然有大量氣體分子存在的環(huán)境。在這樣的環(huán)境中，氣體分子之間的碰撞仍然是主要的物理過(guò)程。
中真空 100 Pa～0.1 Pa，在這個(gè)壓力范圍內(nèi)，氣體分子與容器壁的碰撞變得比氣體分子之間的碰撞更頻繁。這意味著，氣體在中真空環(huán)境中的行為開(kāi)始變得與理想氣體的行為不同。在中真空中，一些更復(fù)雜的物理過(guò)程，如氣體分子的離子化和等離子體的形成，可能會(huì)變得更為重要。中真空環(huán)境在許多科學(xué)和工程領(lǐng)域都有應(yīng)用，包括材料科學(xué)（例如薄膜沉積和刻蝕），電子顯微鏡，以及一些高精度的測(cè)量設(shè)備（例如質(zhì)譜儀）。
超高真空 10-?Pa以下在這樣的環(huán)境中，氣體分子非常稀疏，分子與容器壁的碰撞遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于分子之間的碰撞。超高真空的維護(hù)和測(cè)量需要特殊的技術(shù)和設(shè)備，包括特殊的真空泵和壓力計(jì)。此外，超高真空環(huán)境下的材料和設(shè)備通常需要經(jīng)過(guò)特殊的清潔和處理，以減少氣體吸附和釋放，從而達(dá)到和維持超高真空條件。超高真空環(huán)境可以用于精確控制和測(cè)量物質(zhì)在極低壓力和極低密度下的性質(zhì)。
- 帕斯卡 (Pa)：這是國(guó)際單位制 (SI) 中的壓力單位，1帕斯卡等于1牛頓每平方米 (N/m2)。在真空科學(xué)中，通常使用帕斯卡的小數(shù)單位，如千帕 (kPa)，毫帕 (mPa) 或微帕 (uPa)。
- 毫米汞柱 (mmHg)：這個(gè)單位基于汞柱壓力計(jì)的原理，1毫米汞柱約等于133.322帕斯卡。
- 托 (Torr)：這個(gè)單位是為了紀(jì)念物理學(xué)家托里拆利而命名的，1托等于1毫米汞柱。
- 標(biāo)準(zhǔn)大氣壓 (atm)：這是一個(gè)非SI單位，1標(biāo)準(zhǔn)大氣壓等于101325帕斯卡，或者說(shuō)大約等于760毫米汞柱。
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