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SEM測(cè)試常見(jiàn)問(wèn)題

2023-05-18 17:02 作者:bili_74204057874  | 我要投稿

在做掃描電子顯微鏡(SEM)測(cè)試時(shí),科學(xué)指南針檢測(cè)平臺(tái)工作人員在與很多同學(xué)溝通中了解到,好多同學(xué)對(duì)sem測(cè)試不太了解,針對(duì)此,科學(xué)指南針檢測(cè)平臺(tái)團(tuán)隊(duì)組織相關(guān)同事對(duì)網(wǎng)上海量知識(shí)進(jìn)行整理,希望可以幫助到科研圈的伙伴們;

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常見(jiàn)問(wèn)題

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電鏡圖像的標(biāo)尺與放大倍數(shù)的關(guān)系

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電鏡圖像的標(biāo)尺通常都可以設(shè)定為固定的或可變的。前者是標(biāo)尺的長(zhǎng)度不變,但代表的長(zhǎng)度隨放大倍率變化;后者是標(biāo)尺長(zhǎng)度適應(yīng)不同階段放大倍率可變,但代表的長(zhǎng)度在一定的放大倍率范圍內(nèi)固定不變。

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因此同樣的放大倍率可以有不同的標(biāo)尺,但在同一輸出媒介上的實(shí)際尺寸不變。改變輸出方式時(shí),放大倍率已改變(當(dāng)然顯示的放大倍率不會(huì)變化),測(cè)量的尺寸當(dāng)然也就改變了。

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因此,標(biāo)尺數(shù)值大小跟放大倍數(shù)沒(méi)有必然關(guān)系,具體數(shù)值大小和不同的廠商設(shè)置有關(guān)。

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圖像差與導(dǎo)電性

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自由電子的累積會(huì)在樣品的局部形成靜電場(chǎng),影響正常電子信息的溢出,產(chǎn)生荷電效應(yīng),從而導(dǎo)致圖像局部異常明亮,局部異常暗;表面磨平;圖像畸形;圖像漂移現(xiàn)象;而樣品的導(dǎo)電性差是產(chǎn)生這種現(xiàn)象的主要原因。

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一般通過(guò)噴金(碳),導(dǎo)電染色等方法增強(qiáng)樣品導(dǎo)電性,降低加速電壓或者在產(chǎn)生荷電效應(yīng)前快速觀察。

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電子束損傷

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部分樣品不耐電子束,在拍攝時(shí)會(huì)造成拍攝部位破裂和局部漂移;為避免這種現(xiàn)象的產(chǎn)生,降低加速電壓及較小電子束流,加厚噴鍍金屬膜,在拍攝時(shí)快速選定要拍攝的部位,較短時(shí)間內(nèi)聚焦拍攝。

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