氣鎮(zhèn)的作用與原理
為了從真空系統(tǒng)或真空容器中抽除可凝性氣體,油封式機械泵普遍設有氣鎮(zhèn)裝置。以下介紹了氣鎮(zhèn)的作用與原理。
由于大氣中都含有一定量的水蒸氣,所以泵工作時所抽除的氣體多是某些可凝性氣體和永久性氣體的混合物。
這種混合氣體在泵內(nèi)被壓縮排氣的過程中,如果可凝性氣體的分壓力超過了泵溫下的飽和蒸氣壓,那么它們就會凝結(jié)并與泵油混合,隨油一起循環(huán)。
當它們返回到高真空端時又重新蒸發(fā)變成蒸氣。隨著泵的運轉(zhuǎn),凝結(jié)物不斷增加,使泵的極限真空和抽速降低。
當抽除的氣體中濕度較大時,泵油的污染更加嚴重,使泵的密封、潤滑和冷卻性能變差,以致于經(jīng)常更換新油。
氣鎮(zhèn)法是防止蒸氣凝結(jié)從而避免油污染的有效方法。這種方法是將室溫干燥的空氣經(jīng)氣鎮(zhèn)孔進入泵的壓縮腔中與被抽氣體相混合。
當把這種混合氣體壓縮到排氣壓力時,由于摻氣作用使得其中的蒸氣分壓能保持在泵溫狀態(tài)下的飽和蒸氣壓以下,因而蒸氣不會凝結(jié)而與其它氣體一起被排至泵外。被抽氣體中蒸氣的含量越多,摻入的干燥氣體量就需越多。

圖1描述了上述的氣鎮(zhèn)過程。ab表示蒸氣吸入過程,蒸氣的吸入壓力為PV。對于氣鎮(zhèn)泵,吸氣終了后,稍加壓縮至b’點,開始向泵腔內(nèi)摻氣,并壓縮至排氣壓力PT2,由b’c’表示。
然后泵等壓排出混合氣體,由c’f表示,對于非氣鎮(zhèn)泵,蒸氣吸入后被壓縮到泵溫時的飽和壓力PST,由bc表示。
泵繼續(xù)壓縮,蒸氣逐漸液化,其過程由cd表示。泵對液體(液化的蒸氣及泵油)繼續(xù)進行壓縮,使壓力突然上升到達排氣壓力PT2,如de所示。
最后液體被排至油箱中,與泵油相混,如ef所示。在摻氣過程中,可凝性氣體的壓縮達到c點時,空氣與蒸氣混合物的全壓力就已達到排氣壓力,而此時,蒸氣的分壓力只達到PST。
但因全壓力已達到排氣壓力,排氣閥被推開進行排氣,未凝結(jié)的蒸氣保持氣體狀態(tài)被一起排至泵外。這就是氣鎮(zhèn)泵的工作原理。

采取氣鎮(zhèn)方法,雖然達到了排除蒸氣的目的,但由于摻氣增加了大氣突破漏入到吸氣端的可能性,因此對泵的抽速與極限真空都有影響。
泵在摻氣過程中,其極限真空要比不摻氣時下降1~2個數(shù)量級。
一般在使用時,先使用氣鎮(zhèn)閥摻氣排除可凝性氣體。等到蒸氣基本抽除后,即可關閉氣鎮(zhèn)閥,繼續(xù)抽氣,經(jīng)過一定時間后,就可達到不摻氣時泵的極限真空了。
由于氣鎮(zhèn)方法主要是防止泵在壓縮過程中蒸氣的凝結(jié),所以對那些從氣相狀態(tài)就能溶解在泵油中的蒸氣的抽除效果就比較差。
加裝了氣鎮(zhèn)裝置的機械真空泵,還有自凈化泵油的作用:當泵油被少量凝結(jié)液污染后,只要將泵入口封死,然后打開氣鎮(zhèn)閥,經(jīng)一段時間抽氣運轉(zhuǎn),泵油便能恢復原來的性能。

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