近日有消息稱，清華大學(xué)EUV項(xiàng)目把ASML的光刻機(jī)巨大化，實(shí)現(xiàn)了光刻機(jī)國(guó)產(chǎn)化，并配圖稱該項(xiàng)目已在雄安新區(qū)落地。

對(duì)于相關(guān)消息，中國(guó)電子工程設(shè)計(jì)院有限公司（以下簡(jiǎn)稱“中國(guó)電子院”）官方日前發(fā)布微信公眾文章予以辟謠。

這個(gè)巨型建筑其實(shí)是北京高能同步輻射光源（HEPS），是國(guó)家“十三五”重大科技基礎(chǔ)設(shè)施，由中科院高能所承擔(dān)建設(shè)。它不是光刻機(jī)工廠，而是一個(gè)超精密、超高速、具有強(qiáng)大穿透力的巨型X光機(jī)。

它可以產(chǎn)生高能量、高亮度的同步輻射光，穿透物質(zhì)、深入內(nèi)部進(jìn)行立體掃描，從分子、原子的尺度多維度地觀察微觀世界。

它是進(jìn)行科學(xué)實(shí)驗(yàn)的大科學(xué)裝置，為基礎(chǔ)科學(xué)和工程科學(xué)等領(lǐng)域原創(chuàng)性、突破性創(chuàng)新研究提供重要支撐。該項(xiàng)目由全國(guó)勘察設(shè)計(jì)大師、國(guó)投集團(tuán)首席科學(xué)家?jiàn)溆顜ш?duì)，中國(guó)電子院多個(gè)技術(shù)科研和設(shè)計(jì)團(tuán)隊(duì)協(xié)同合作。

從項(xiàng)目可研立項(xiàng)到項(xiàng)目落地，中國(guó)電子院攻克了多項(xiàng)技術(shù)和工藝難關(guān)，實(shí)現(xiàn)了重大技術(shù)突破，指標(biāo)控制達(dá)到了國(guó)際先進(jìn)水平。HEPS坐落于北京懷柔雁棲湖畔，早在2019年就開(kāi)始建設(shè)，將于2025年底投入使用。

屆時(shí)，它將成為世界最先進(jìn)的X射線光子科學(xué)研究平臺(tái)之一，為探索物質(zhì)內(nèi)部結(jié)構(gòu)與變化過(guò)程的強(qiáng)有力的科學(xué)工具。