激光位移傳感器可以非接觸測量被測物體的位置、位移等變化，主要應(yīng)用于檢測物的位移、厚度、振動、距離、直徑等幾何量的測量。按照測量原理,激光位移傳感器原理分為激光三角測量法和激光回波分析法,激光三角測量法一般適用于高精度、短距離的測量，而激光回波分析法則用于遠(yuǎn)距離測量，下面分別介紹激光位移傳感器原理的兩種測量方式。

　　電渦流位移傳感器

　　分辨率：電渦流傳感器的分辨率*高也可達(dá)到0.1um，與激光位移傳感器基本相當(dāng)

　　線性度：電渦流傳感器的線性度一般較低，為量程的1%左右，優(yōu)異激光位移傳感器則一般為0.1%

　　測量條件：電渦流傳感器要求被測體為導(dǎo)體而且非導(dǎo)磁，即不導(dǎo)磁的導(dǎo)體，例如鋁、銅等。鐵則不行。激光位移傳感器則對無論被測體是否導(dǎo)磁、是否導(dǎo)電都能測。

　　電容位移傳感器

　　電容式位移傳感器精度非常高，遠(yuǎn)高于激光位移傳感器，但是電容位移傳感器的量程很小一般小于1mm，激光位移傳感器的量程*大可做到2m。