RFID技術(shù)在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用已經(jīng)越來(lái)越廣泛，在半導(dǎo)體行業(yè)的不同環(huán)節(jié)中發(fā)揮著重要的作用，它不僅可以提高生產(chǎn)效率，還可以提供質(zhì)量保障。

以下將介紹RFID技術(shù)在半導(dǎo)體行業(yè)不同環(huán)節(jié)的應(yīng)用：

TI玻璃管標(biāo)簽是晶圓盒的身份標(biāo)識(shí)，每個(gè)晶圓盒的TI玻璃管標(biāo)簽內(nèi)都記錄著各自的晶圓芯片信息，因此，需要將TI玻璃管標(biāo)簽安裝在晶圓盒的任意合適位置即可；半導(dǎo)體RFID讀寫(xiě)器是獲取晶圓盒身份標(biāo)識(shí)（TI玻璃管標(biāo)簽）的RFID讀寫(xiě)設(shè)備。

FOUP晶圓盒生產(chǎn)追蹤管理

將半導(dǎo)體RFID讀寫(xiě)器部署在每個(gè)工藝處理設(shè)備上，當(dāng)晶圓盒經(jīng)過(guò)時(shí)，讀寫(xiě)器自動(dòng)采集TI玻璃管的信息，檢驗(yàn)校對(duì)晶圓盒的信息，跟蹤產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程中采用的每一個(gè)工具，掌握每一生產(chǎn)步驟所花費(fèi)的時(shí)間，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制和優(yōu)化制造過(guò)程！

半導(dǎo)體電子貨架管理

將半導(dǎo)體電子貨架RFID讀寫(xiě)器安裝于半導(dǎo)體電子貨架識(shí)別位的后方。當(dāng)晶圓盒被放置在半導(dǎo)體電子貨架上時(shí)，位于識(shí)別位上的半導(dǎo)體RFID讀寫(xiě)器通過(guò)紅外線(xiàn)感應(yīng)并觸發(fā)天線(xiàn)讀取TI標(biāo)簽，從而收集晶圓盒的信息。同時(shí)半導(dǎo)體電子貨架前端的顯示屏將實(shí)時(shí)顯示晶片產(chǎn)品的種類(lèi)。當(dāng)晶圓盒被移除時(shí)，半導(dǎo)體RFID讀寫(xiě)器無(wú)法感知到TI標(biāo)簽的存在，便會(huì)在顯示屏上顯示相應(yīng)的產(chǎn)品已被取走。

晶圓盒存儲(chǔ)柜管理

將半導(dǎo)體RFID讀寫(xiě)器嵌入到存儲(chǔ)柜承載平臺(tái)支撐板內(nèi)，當(dāng)晶圓盒放入存儲(chǔ)柜時(shí)，半導(dǎo)體RFID讀寫(xiě)器識(shí)別TI玻璃管標(biāo)簽，獲取晶圓盒的貨品信息，確認(rèn)晶圓盒是否存放正確，同時(shí)獲取晶圓芯片的儲(chǔ)存位置，在必要時(shí)可立即找到所存儲(chǔ)的晶圓。

晶圓盒硅片清洗

將半導(dǎo)體RFID讀寫(xiě)器部署在晶圓硅片清洗工位的上方，當(dāng)裝有TI玻璃管標(biāo)簽的晶圓盒被送達(dá)清洗區(qū)域，半導(dǎo)體RFID讀寫(xiě)器將自動(dòng)地讀取并確定該晶圓盒是否到達(dá)其預(yù)設(shè)位置。清洗作業(yè)完成后，所采集到的TI標(biāo)簽信息將上傳至管理系統(tǒng)，同時(shí)對(duì)已經(jīng)完成清洗步驟的晶圓硅片進(jìn)行標(biāo)記。當(dāng)半導(dǎo)體RFID讀寫(xiě)器再次讀取到該標(biāo)簽時(shí)，可以獲知晶圓硅片已完成了哪些工序，從而防止工序混淆情況的發(fā)生。

半導(dǎo)體天車(chē)站點(diǎn)識(shí)別與搬運(yùn)管理

站點(diǎn)識(shí)別：在半導(dǎo)體天車(chē)的軌道上安裝RFID標(biāo)簽，半導(dǎo)體RFID讀寫(xiě)器部署在天車(chē)上，當(dāng)RFID讀寫(xiě)器接收行車(chē)軌道站點(diǎn)處的RFID標(biāo)簽后，即可獲得天車(chē)的行車(chē)位置信息，對(duì)天車(chē)進(jìn)行實(shí)時(shí)的位置動(dòng)態(tài)監(jiān)測(cè)，并根據(jù)自身所在的位置進(jìn)行線(xiàn)路規(guī)劃與調(diào)度，確保天車(chē)的作業(yè)安全距離與運(yùn)輸效率。

搬運(yùn)管理：當(dāng)天車(chē)搬運(yùn)FOUP晶圓盒時(shí)，半導(dǎo)體RFID讀寫(xiě)器接收來(lái)自TI玻璃管標(biāo)簽的相關(guān)信息，確保所搬運(yùn)的FOUP晶圓盒是準(zhǔn)確。在行駛到相應(yīng)的存儲(chǔ)/放置位置時(shí)，半導(dǎo)體RFID讀寫(xiě)器再次識(shí)別目的地的標(biāo)簽信息，并將符合的信息的FOUP晶圓盒放到相應(yīng)的位置，同時(shí)將拿取到放置時(shí)所有的信息上傳到管理系統(tǒng)處。

未盡許可，禁止轉(zhuǎn)載，違者必究?。?！