硅烷廢氣處理：

硅烷廢氣處理的原理是，利用吸附劑將氣體中的有機污染物吸附到其表面。然后通過加熱或催化劑的作用，使有機物分解為二氧化碳和水等無害物質(zhì)。由于在高溫條件下有機物的熱解和催化作用，因此可有效地除去有害物。

硅烷廢氣的特點：

1、溫度高、濃度低；

2、有毒有害成分含量高；

3、有腐蝕性（對設(shè)備）；

4、易燃燒爆炸（危險品）。

處理流程如下：

1、收集含有一定量污染物質(zhì)的工業(yè)生產(chǎn)排出的含vocs的尾氣，如噴漆房、烤漆房、橡膠制品加工車間產(chǎn)生的廢氣；

2、采用多級凈化回收系統(tǒng)進(jìn)行處理凈化回收后達(dá)標(biāo)排放。

3、對于不能進(jìn)行有效治理的vocs尾氣應(yīng)安裝相應(yīng)的空氣凈化裝置并正常運行；

4、根據(jù)實際情況選擇合適的處理及配套輔助設(shè)施設(shè)備。

5、經(jīng)處理后的尾氣達(dá)到國家規(guī)定的環(huán)保標(biāo)準(zhǔn)后方可排放。