目前在很多工業(yè)應(yīng)用領(lǐng)域，采用油封式機(jī)械泵（旋片泵和滑閥泵）真空系統(tǒng)抽除大量的含有化學(xué)活性、腐蝕性及磨蝕性的氣體，其中以微電子及半導(dǎo)體工業(yè)較多。

在半導(dǎo)體晶片加工工藝中需要抽除的氣體可能是腐蝕性的、易燃的、磨蝕性的、有毒的、或與普通真空泵油不相容的，要求真空泵在運(yùn)轉(zhuǎn)中振動(dòng)噪音小并具有高度的可靠性。

表1中所列為一些典型的被抽除的危險(xiǎn)氣體，腐蝕性氣體和反應(yīng)生成物，當(dāng)它們達(dá)到一定濃度時(shí)是危險(xiǎn)的，在處理和抽除時(shí)必須特別小心。

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