【應(yīng)用介紹】深能級瞬態(tài)光譜檢測（DLTS）
應(yīng)用簡介
DLTS是一種強(qiáng)大的技術(shù)，常用于研究半導(dǎo)體中缺陷的濃度和載流子結(jié)合能。
DLTS 技術(shù)涉及在不同溫度下測量電容瞬變。首先，通過將半導(dǎo)體結(jié)反向偏置，大部分移動電荷載流子會被耗盡。隨后，通過正電壓脈沖將電壓短暫置零，空陷阱被填充。在脈沖結(jié)束之后，半導(dǎo)體結(jié)會再次處于反向偏置偏置狀態(tài)。此時電荷的移動就會引起瞬態(tài)電容的變化。
測量策略
您可以使用MFIA阻抗分析儀在長時間間隔內(nèi)以高分辨率測量完整的電容瞬變過程。如下圖所示，使用LabOne?的繪圖儀模塊，您可以輕松完成DLTS測量的設(shè)置。
MFIA可以在10 μs（1 MHz下）的時間尺度上測量從1 mHz到5 MHz（不僅在1 MHz）范圍內(nèi)的電容瞬變。如下圖所示，LabOne?的數(shù)據(jù)采集（DAQ）模塊可以通過外部脈沖發(fā)生器或通過內(nèi)部產(chǎn)生的偏置脈沖來觸發(fā)。借助DAQ模塊和數(shù)據(jù)緩沖區(qū)，您可以在高時間分辨率和長時間窗口（包括觸發(fā)事件之前的穩(wěn)定狀態(tài)）下可靠地捕獲整個瞬態(tài)。
MFIA包含的雙通道鎖定放大器可用于同時捕獲電流瞬變和電容瞬變。與電容測量相比。與傳統(tǒng)的電容測量相比，DLTS可以在更短的時間內(nèi)測量電容的變化，但是無法精確測量電容的絕對值。
選擇蘇黎世儀器的優(yōu)勢
01 -??由于集成了數(shù)字化儀，更寬的電容測量范圍和靈活的工作頻率，MFIA得以完全超越已停產(chǎn)的Boonton 7200。此外，LabOne附帶了許多工具，可幫助您監(jiān)視和優(yōu)化實驗。
02 -??LabOne強(qiáng)大的API可以幫您輕松集成MFIA到復(fù)雜的實驗設(shè)置和溫度控制中。
03 -??8級電流輸入可確保在施加反向偏置脈沖時儀器不會過載。
更多內(nèi)容，請觀看我們的在線研討會《DLTS User Meeting 2022》
