應(yīng)用介紹

MEMS（Micro-Electro-Mechanical System）是一種在硅晶圓上制造電子機械系統(tǒng)的半導(dǎo)體技術(shù)。這種機械系統(tǒng)可以將MEMS芯片感應(yīng)到的外部物理和化學(xué)信號轉(zhuǎn)換成電信號。ASIC將MEMS芯片產(chǎn)生的電信號進一步處理并傳輸?shù)较乱患夒娐贰?

MEMS 廣泛應(yīng)用于當(dāng)今的電子產(chǎn)品——從手持設(shè)備到醫(yī)療設(shè)備再到汽車設(shè)備。在智能手機中，滾動速度更快、通過具有降噪功能的麥克風(fēng)通話以及通過位置傳感器利用定位導(dǎo)航的能力均基于 MEMS 技術(shù)。請參見下面的麥克風(fēng)和壓力傳感器 MEMS 器件示意圖。?

在汽車集成中，MEMS 技術(shù)應(yīng)用于壓力傳感器、速度傳感器、氣流傳感器、磁力計和加速度計，這些都是確保汽車功能和效率的關(guān)鍵要素。盡管這些設(shè)備對 MEMS 和傳感器功能的要求相似，但應(yīng)用和設(shè)計考慮因素卻大不相同。對于手持設(shè)備來說，空間非常寶貴，并且要求 MEMS 設(shè)備的尺寸非常小，這些設(shè)備包含薄而易碎的特征。對于汽車 MEMS 設(shè)備和其他傳感器技術(shù)，靈敏度水平和高溫兼容性是關(guān)鍵考慮因素。請參閱下面的加速度計/陀螺儀/磁力計 MEMS 設(shè)備的示意圖。? ?

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