潔凈室風(fēng)量測(cè)量：對(duì)于單向流動(dòng)潔凈室，送風(fēng)量由平均風(fēng)速與房間截面面積的乘積決定。采樣測(cè)試段取距離高效過濾器0.3m且垂直于氣流的段。截面上測(cè)點(diǎn)之間的距離不得超過0.6m，測(cè)點(diǎn)數(shù)量不得少于5個(gè)。所有測(cè)量點(diǎn)的風(fēng)速讀數(shù)的算術(shù)平均值為平均風(fēng)速。對(duì)于非單向流潔凈室，送風(fēng)量應(yīng)采用通風(fēng)口法或風(fēng)道法確定。排氣方法根據(jù)排氣口形狀，在安裝高效過濾器的排氣口上連接輔助排氣口進(jìn)行試驗(yàn)，即使用鍍鋅鋼板或不產(chǎn)生其他粉塵的材料制作排氣口形狀和內(nèi)截面相同、長度等于排氣口側(cè)長度的2倍的直管段然后將其連接到風(fēng)口外部，在輔助風(fēng)管出口平面上，測(cè)點(diǎn)最小數(shù)不得少于6個(gè)，風(fēng)口迎風(fēng)側(cè)有較長的直管段，可鉆取或鉆取風(fēng)量時(shí)

，可使用風(fēng)道法確定風(fēng)量。測(cè)量段必須位于局部電阻成分之前的3倍管徑或長邊長度以上的位置，以及局部電阻成分之后的5倍管徑或長度以上的位置。對(duì)于圓形管道，截面應(yīng)根據(jù)管徑劃分為多個(gè)面積相同的同心環(huán)，環(huán)的數(shù)量應(yīng)根據(jù)管徑確定，對(duì)于矩形管道，測(cè)量段應(yīng)劃分為幾個(gè)相等的段，而不是小于三個(gè)。各小斷面應(yīng)盡量靠近正方形，邊長不得超過200mm。測(cè)量點(diǎn)必須位于小截面的中心，但整個(gè)截面的測(cè)量點(diǎn)數(shù)量不能少于三個(gè)。

潔凈室溫度下濕度測(cè)量：應(yīng)根據(jù)溫度和相對(duì)濕度的變化范圍，選擇具有足夠精度的相應(yīng)儀器進(jìn)行測(cè)量，每次測(cè)量間隔不得超過30min。室內(nèi)測(cè)點(diǎn)布置：通風(fēng)口、潔凈室中心無恒溫要求，是恒溫工作區(qū)的代表性表面，一般測(cè)點(diǎn)應(yīng)布置在距外墻表面0.5米以上、距地面0.8米的相同高度，或根據(jù)恒溫區(qū)大小布置在距地面不同高度的多個(gè)平面上。在要求一定溫度和濕度的無塵室中，根據(jù)測(cè)量點(diǎn)在各溫度下的偏差控制點(diǎn)溫度的最大值，將室溫變動(dòng)范圍分類為累積統(tǒng)計(jì)曲線，占測(cè)量點(diǎn)總數(shù)的百分比。如果測(cè)定點(diǎn)偏差值的90%以上在室溫變動(dòng)范圍內(nèi)，則認(rèn)為符合設(shè)計(jì)要求，反之則認(rèn)為不合格，區(qū)域溫度基于各測(cè)定點(diǎn)的最低試驗(yàn)溫度。超過各測(cè)量點(diǎn)的平均溫度和偏差值的點(diǎn)的數(shù)量作為測(cè)量點(diǎn)總數(shù)的百分比被分類為累計(jì)統(tǒng)計(jì)曲線。90%以上的測(cè)量點(diǎn)所達(dá)到的偏差值，區(qū)域溫差應(yīng)符合設(shè)計(jì)要求。相對(duì)溫度變化范圍可以根據(jù)室溫變化范圍的規(guī)定來實(shí)施。

應(yīng)在所有門關(guān)閉狀態(tài)下測(cè)量高壓至低壓的靜壓差，從平面布置圖上最遠(yuǎn)離外部的內(nèi)部房間開始，依次走向外部。所用差壓計(jì)的靈敏度不應(yīng)小于2pa，不同等級(jí)、不同孔的潔凈室開口需要合理的氣流方向。檢漏：高效過濾器的檢漏采用采樣速度大于1L/min的光學(xué)粒子計(jì)數(shù)器，檢漏采用帶粒子計(jì)數(shù)器的高效過濾器，在其迎風(fēng)側(cè)引入含有均勻濃度的大氣粉塵或其它氣溶膠粉塵的空氣，高效過濾器的檢測(cè)采用掃描法。粒子計(jì)數(shù)器的等速采樣頭用于過濾器的下風(fēng)側(cè)。在清潔設(shè)計(jì)風(fēng)速的條件下檢測(cè)泄漏率，該泄漏率應(yīng)在距離被檢體表面20-30mm、5-20mm/s的速度下對(duì)過濾器的表面、框架和頭部橡膠進(jìn)行移動(dòng)掃描檢查。必須將在測(cè)試HEPA濾波器的順風(fēng)側(cè)測(cè)量的泄漏濃度轉(zhuǎn)換為傳輸速率。HEPA濾波器不得超過工廠合格傳輸率的2倍。