透射電子顯微技術TEM儀器原理
2022-10-14 17:16 作者:bili_74204057874 | 我要投稿
在做透射電子顯微鏡(TEM測試)時,科學指南針檢測平臺工作人員在與很多同學溝通中了解到,大多數同學對TEM測試儀器原理不是很清楚,針對此,科學指南針檢測平臺團隊組織相關同事對網上海量知識進行整理,希望可以幫助到科研圈的伙伴們;
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分析原理:高能電子束穿透試樣時發(fā)生散射、吸收、干涉和衍射,使得在相平面形成襯度,顯示出圖象
譜圖的表示方法:質厚襯度象、明場衍襯象、暗場衍襯象、晶格條紋象、和分子象
提供的信息:晶體形貌、分子量分布、微孔尺寸分布、多相結構和晶格與缺陷等
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TEM工作圖
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TEM成像過程
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STEM成像不同于平行電子束的TEM,它是利用聚集的電子束在樣品上掃描來完成的,與SEM不同之處在于探測器置于試樣下方,探測器接收透射電子束流或彈性散射電子束流,經放大后在熒光屏上顯示出明場像和暗場像。
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STEM分析圖
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入射電子束照射試樣表面發(fā)生彈性散射,一部分電子所損失能量值是樣品中某個元素的特征值,由此獲得能量損失譜(EELS),利用EELS可以對薄試樣微區(qū)元素組成、化學鍵及電子結構等進行分析。
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EELS原理圖
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