電子特種氣體指是電子氣體的一個重要分支，應用于光刻、刻蝕、成膜、清洗、摻雜、沉積等工藝環(huán)節(jié)，電子特種氣體是集成電路、顯示面板等行業(yè)必需的支撐性材料，廣泛應用于光刻、刻蝕、成膜、清洗、摻雜、沉積等工藝環(huán)節(jié)，對于純度、穩(wěn)定性、包裝容器等具有較高的要求。

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電子特種氣體應用于集成電路行業(yè)的需求占市場總需求的43%，應用于顯示面板行業(yè)的需求占市場總需求的37%。我國集成電路行業(yè)電子特種氣體的需求相對較低，主要原因為我國的集成電路產業(yè)技術水平和產業(yè)規(guī)模與世界先進國家和地區(qū)還存在一定差距。

2021年中國電子特氣下游應用情況

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我國電子特氣行業(yè)打破了完全依賴于進口的局面，涌現出一批生產質量穩(wěn)定的氣體廠商。目前國內電子特氣第一梯隊的廠商已經具備替代能力，在細分領域具有一定優(yōu)勢，逐步縮小與國外龍頭的差距，加速實現國產替代。國內電子特種氣體企業(yè)主要有派瑞特氣、南大光電、昊華科技等。

國內電子特種氣體主要競爭企業(yè)

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未來，下游需求增長帶動半導體行業(yè)投資加速，以及“碳中和”及“碳達峰”對光伏行業(yè)發(fā)展的推動作用，電子特種氣體需求將持續(xù)保持高速增長。預計2023年國內電子特種氣體市場規(guī)模達249億元。

2017-2023年中國電子特種氣體市場規(guī)模

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