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SEM測試成像原理與消像散

2023-05-23 14:47 作者:bili_74204057874  | 我要投稿

在做掃描電子顯微鏡(SEM)測試時,科學指南針檢測平臺工作人員在與很多同學溝通中了解到,好多同學對SEM測試不太了解,針對此,科學指南針檢測平臺團隊組織相關同事對網(wǎng)上海量知識進行整理,希望可以幫助到科研圈的伙伴們;

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成像原理

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從電子槍陰極發(fā)出的電子束,經聚光鏡及物鏡會聚成極細的電子束(0.00025微米-25微米),在掃描線圈的作用下,電子束在樣品表面作掃描,激發(fā)出二次電子和背散射電子等信號,被二次電子檢測器或背散射電子檢測器接收處理后在顯象管上形成襯度圖象。二次電子像和背反射電子反映樣品表面微觀形貌特征。而利用特征X射線則可以分析樣品微區(qū)化學成分。

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消像散

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當觀察高倍圖像時,反復調焦都不清楚,圖像在相互垂直方向上有模糊邊,見下組照片的左圖和中圖,這就是像散,必須予以消除。

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消像散操作有三種選擇:

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1.點擊下拉菜單的消像散圖標,拖動鼠標左鍵分別上下或左右移動,使模糊邊盡量減小,再調焦,清晰度有所改善,該過程反復進行,直到圖像清晰,見右圖。

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2.在光闌板面點擊消像散(Stigmation),分別拖動XY坐標線的兩個方向滑尺,減小模糊量。

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3.利用手動操作板上的兩個消像散旋鈕,分別緩慢轉動,消除模糊邊。

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以上僅為科學指南針檢測平臺對網(wǎng)上資料的收集整合,故此分享給大家,希望可以幫助大家對測試更了解,如有測試需求,可以和科學指南針聯(lián)系,我們會給與您最準確的數(shù)據(jù)和最好的服務體驗,惟??蒲泄ぷ髡呖梢愿p松的工作。

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