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蔡司工業(yè)CT內(nèi)部結(jié)構(gòu)檢測

2023-08-28 14:11 作者:蔡司一級代理三本精密  | 我要投稿

1. 射線源

從靶材的形狀和角度分類,X射線管分為反射式和透射式。反射式靶面與入射電子束形成一定傾斜角度,具有較大的散熱體積,可以承受較高電壓的加速電子;透射式靶是很薄的一層薄膜,靶面與入射電子束垂直,可以獲得更小的焦點(diǎn)尺寸和更大的輻射角度。一般來說,透射靶射線源最高電壓不超過200KV,而反射靶射線源則可高達(dá)600KV甚至MV。

2. 探測器

探測器一般分為平板探測器和線陣探測器,前者擁有更高的數(shù)據(jù)采集效率,后者則擁有更高的采樣精度。

平板探測器針對工業(yè)級標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì),堅(jiān)固耐用,并具備高耐輻射、廣泛的環(huán)境適應(yīng)性和高可靠性等特點(diǎn),數(shù)據(jù)通過光纖進(jìn)行傳輸。

線陣探測器由硅光電二極管及鎢酸鎘(CdWO4)組成,通過將多個(gè)探測板首位相連,形成一定長度的探測器線陣,可滿足不同尺寸 X 射線檢測設(shè)備的需求。

3. 檢測范圍

由于探測器尺寸限制,目前平板探測器常規(guī)掃描能檢測的工件最大尺寸約為d350*h300,采用圖像拼接方法配合螺旋掃描偏置掃描,可大大擴(kuò)展檢測范圍,225KV的工業(yè)CT可以做到最高檢測范圍達(dá)d600*h800。

工業(yè)CT 三本工業(yè)測量

4. 焦點(diǎn)尺寸/探測器最小探元/射線源電壓/掃描時(shí)間/放大倍率/空間分辨率

焦點(diǎn)尺寸a指的是射線經(jīng)過高壓發(fā)生器加速后,聚焦到靶材上的直徑。通常情況下,焦點(diǎn)尺寸越小,系統(tǒng)分辨率越高,成像越清晰。目前透射靶能做到亞微米級焦點(diǎn),而反射靶最高能做到3-5微米。通常,射線源電壓越高,焦點(diǎn)尺寸越大。探測器的探元尺寸d直接影響成像的分辨率,目前主流的3K探測器的探元尺寸一般在100微米-200微米之間。

目前工業(yè)CT的射線源電壓一般從130KV-450KV之間,也有些特殊應(yīng)用,需要用到600KV甚至MV射線源電壓。

一般來說,成像效果和掃描時(shí)間成正比,而掃描時(shí)間又與曝光時(shí)間以及掃描最小分度有關(guān)。要得到較好的三維圖像,通常需要從360°各個(gè)方向掃描工件,分度在0.1°-1°之間。放大倍率M取決于工件X方向放置的位置,同時(shí)它也影響著空間分辨率。空間分辨率是指CT成像能分辨的最小細(xì)節(jié)尺寸,其計(jì)算公式如下:

5. 偽影

工業(yè)CT偽影一般分為散射偽影,環(huán)狀偽影,射線硬化偽影和多材料偽影。

散射偽影一般通過軟件算法(濾波算子)可較好地消除。

環(huán)狀偽影可通過不同射線強(qiáng)度條件下,采用更多增益圖像實(shí)現(xiàn)像素靈敏度差異的校正(軟件),同時(shí)在掃描過程中在探測器前方執(zhí)行Y向偏置及重建過程中的運(yùn)動(dòng)補(bǔ)償,使得靠近轉(zhuǎn)臺軸線的體素受更多探測器像素的影響(硬件+軟件)。

射線硬化偽影是由于電子撞擊靶材所產(chǎn)生的韌致輻射為連續(xù)譜X射線,故X射線沿穿透方向能量衰減不同從而產(chǎn)生。可通過射線硬化濾波算子在重建計(jì)算中消除(軟件)或加載合適的濾波片,過濾掉低能量的X射線(硬件)。

多材料偽影消除較為復(fù)雜,最好的方式是采用不同的電壓多次掃描,最后把掃描結(jié)果拼接。另外可通過散射校正減弱材料邊界的影響。再有就是選擇合適的濾波算子進(jìn)行偽影消除(難度較大)。

6. 用于測量的工業(yè)CT精度

工業(yè)CT用作測量的工作流程如下:

由于數(shù)據(jù)處理用到的算法大同小異,故工業(yè)CT的精度主要取決于采集投影數(shù)據(jù)的精度,主要涉及到CT的射線源,探測器及機(jī)械結(jié)構(gòu)。一般來說,焦點(diǎn)尺寸越小,探測器探元尺寸越小,空間分辨率越高,工業(yè)CT的精度越高。同時(shí),由于工業(yè)CT成像和重建過程均會(huì)放大誤差,故機(jī)械結(jié)構(gòu)(包括X/Y/Z軸及轉(zhuǎn)臺)很大程度上決定了CT的絕對精度。用于測量的工業(yè)CT需要配置三軸及轉(zhuǎn)臺光柵尺。

按照VDI 2630,一般用形狀探測誤差(Form Probing Error)、尺寸探測誤差(Size Probing Error)及球心距誤差(Sphere Distance)來定義CT的精度。

廣東三本工業(yè)測量儀器有限公司是一家專注于高端品牌測量儀器銷售和服務(wù)的專業(yè)公司。

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