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邁高科技||這個(gè)材料太火了,它又上NM了...

2022-08-19 15:32 作者:邁高科技  | 我要投稿

引子

隨著大數(shù)據(jù)時(shí)代的到來(lái),人們對(duì)信息存儲(chǔ)的要求也越來(lái)越高?,F(xiàn)有的存儲(chǔ)設(shè)備或材料逐漸無(wú)法滿足人們的需求,因此,尋找新型的信息存儲(chǔ)材料則變得尤為迫切。目前主流的存儲(chǔ)器都或多或少存在著一些難以克服的缺陷,如儲(chǔ)讀寫(xiě)速度過(guò)慢,存儲(chǔ)穩(wěn)定性不佳,無(wú)法實(shí)現(xiàn)非易失存儲(chǔ)等。為此新一代存儲(chǔ)器件必須從原理上做改變,基于以上思想,人們提出了鐵電存儲(chǔ)、相變存儲(chǔ)等一系列新的概念。

事實(shí)上,長(zhǎng)期以來(lái),由于傳統(tǒng)鐵電材料的諸多缺陷,鐵電存儲(chǔ)發(fā)展緩慢。2011年新發(fā)現(xiàn)的具有鐵電性能的HfO2徹底改變了人們對(duì)鐵電存儲(chǔ)認(rèn)識(shí)。HfO2以其優(yōu)異的鐵電性能,與硅工藝的兼容性以及在極低尺寸下的鐵電保持特性迅速進(jìn)入了人們的視野,它在微電子領(lǐng)域存在著相當(dāng)大的潛力。然而其待解決的科學(xué)和工程問(wèn)題也十分之多:如何使得HfO2鐵電相穩(wěn)定存在,如何使其矯頑場(chǎng)降低,如何改善HfO2的抗疲勞特性等等。

研究?jī)?nèi)容

美國(guó)內(nèi)布拉斯加大學(xué)林肯分校(UNL)的著名教授Evgeny Y. Tsymbal帶領(lǐng)其的課題組制備出了接近理論極化強(qiáng)度的Y摻雜HfO2外延薄膜,通過(guò)多種手段表征了其薄膜性質(zhì),證明了基底約束在穩(wěn)定氧化鉿鐵電相的過(guò)程中,起了十分重要的作用。


圖1 氧化鉿的晶體結(jié)構(gòu)及其性能表征

該課題組采用激光脈沖沉積(PLD)的方式,首先在La0.7Sr0.3MnO3(LSMO)基底上生長(zhǎng)了SrTiO3(STO)薄膜,之后在不同取向的STO薄膜上生長(zhǎng)了5%Y摻雜的HfO2(Y-HfO2),圖1(b)電子衍射(XRD)圖譜表明,Y-HfO2表現(xiàn)出了很好的外延特性,同時(shí)也出現(xiàn)了鐵電相的特征峰,通過(guò)搖擺曲線來(lái)描述材料結(jié)晶度,如圖1(d)所示。通過(guò)對(duì)比不同STO取向生長(zhǎng)的Y-HfO2薄膜結(jié)晶度及其極化值,作者證明了結(jié)晶度與極化強(qiáng)度正相關(guān),且與結(jié)晶溫度直接對(duì)應(yīng)。值得一提的是,該實(shí)驗(yàn)制備出的Y-HfO2剩余極化值高達(dá)50 uC/cm2,達(dá)到了理論計(jì)算值。

圖2 原子力顯微鏡表征結(jié)果

為進(jìn)一步證明其實(shí)驗(yàn)結(jié)果的可靠性,作者利用原子力顯微鏡對(duì)材料的形貌、相位等進(jìn)行了表征。利用振幅和相位圖對(duì)寫(xiě)疇后區(qū)域的分析可以看出,其疇壁界限明顯,相位差達(dá)到了180度,這證明了Y-HfO2具有非常優(yōu)秀的鐵電性能。圖2(c)為薄膜表面的形貌圖,其表面形貌表現(xiàn)出貨明顯的臺(tái)階狀,與XRD圖相互印證,證明了Y-HfO2薄膜的外延特性。為了消除注入電荷、氧空位電荷干擾等非本征因素,作者在20K的環(huán)境下,進(jìn)行了加電場(chǎng)實(shí)驗(yàn),如圖2(d)所示,其相位翻轉(zhuǎn)達(dá)到了180度,表現(xiàn)出了與電滯回線幾乎完全一致的形狀,這表明,該鐵電極化是本征的,而非外部因素所導(dǎo)致的。

隨后,文章研究了不同環(huán)境以及生長(zhǎng)環(huán)境下Y-HfO2材料的鐵電性能,研究發(fā)現(xiàn),該材料在不同環(huán)境溫度下的極化值變化不大,這表明Y-HfO2擁有較好的熱穩(wěn)定性,極化強(qiáng)度在圖3(c)中給出。

圖3 不同溫度及生長(zhǎng)溫Y-HfO2對(duì)極化強(qiáng)度的影響

有趣的是,這和傳統(tǒng)鐵電材料極化值隨溫度的變化規(guī)律相反。一般來(lái)說(shuō),由于熱擾動(dòng)的影響,隨著溫度升高,材料內(nèi)部缺陷增多,導(dǎo)致鐵電相翻轉(zhuǎn)困難,這會(huì)導(dǎo)致材料極化值減小。而在Y-HfO2薄膜中表現(xiàn)出的極化隨溫度升高的現(xiàn)象很不尋常。作者解釋稱此起源于氧化鉿材料獨(dú)特的性質(zhì),隨著溫度的增加,氧空位的活性和濃度都有所提高,前人的研究表明,氧空位有利于氧化鉿鐵電相的生成。圖3(d)描述了不同生長(zhǎng)溫度下的Y-HfO2電滯回線,其明顯表現(xiàn)出溫度的依賴關(guān)系,作者將此歸因于Y-HfO2生長(zhǎng)溫度對(duì)結(jié)晶度的影響。

圖4 薄膜結(jié)構(gòu)表征圖

在氧化鉿的研究中,人們還發(fā)現(xiàn)了一類(lèi)具有一定爭(zhēng)議性的菱方相結(jié)構(gòu),該結(jié)構(gòu)被認(rèn)為是另一種鐵電起源。為討論菱方相產(chǎn)生的可能性,該課題組通過(guò)精細(xì)XRD衍射分析,如圖4所示,得出了結(jié)構(gòu)中菱方相畸變較少的結(jié)論。XRD圖譜表明,菱方相畸變僅在角度上產(chǎn)生了0.25度的差別,結(jié)構(gòu)依舊保持了a=5.20 b=5.07 c=5.08的晶格常數(shù),不太符合菱方相特征,因此該課題組制備的Y-HfO2薄膜菱方相畸變程度十分有限。

圖5 菱方相畸變對(duì)Y-HfO2鐵電性的影響

為驗(yàn)證菱方相畸變對(duì)薄膜鐵電性能的影響,該課題組采用了第一性原理的計(jì)算手段進(jìn)行了說(shuō)明。如圖5所示,通過(guò)改變氧化鉿結(jié)構(gòu)的晶格常數(shù),修改角度后,其與未畸變的氧化鉿能量相差無(wú)幾,這表明在實(shí)驗(yàn)制備的薄膜中,該畸變并不會(huì)明顯影響其相穩(wěn)定性。作者進(jìn)一步分析了畸變?cè)跇O化上帶來(lái)的影響,計(jì)算結(jié)果表明,角度的改變僅使薄膜極化降低了0.02 uC/cm2,這一數(shù)值在實(shí)際情況中可以忽略不計(jì)??偟膩?lái)說(shuō),雖然在STO基底的夾持作用下,Y-HfO2薄膜產(chǎn)生了一定的菱方畸變,但無(wú)論從相穩(wěn)定性和極化大小的方面考慮,其影響都是微乎其微的,該實(shí)驗(yàn)并不支持氧化鉿的菱方相鐵電起源假說(shuō)。

寫(xiě)在后面

歷年文章發(fā)表的情況表明,結(jié)合原理計(jì)算往往可以使文章檔次提升,有機(jī)會(huì)沖擊高水平期刊。事實(shí)上,翻閱Nature、Science等主流期刊的理工類(lèi)文章就會(huì)發(fā)現(xiàn),幾乎所有文章都會(huì)結(jié)合一定程度的理論計(jì)算。因此掌握一門(mén)理論計(jì)算的手段是每位科研工作者的基本素養(yǎng)。

隨著第一性原理的蓬勃發(fā)展,其地位也越來(lái)越高,對(duì)于廣大從事實(shí)驗(yàn)的科研工作者而言,學(xué)習(xí)好第一性原理計(jì)算方法絕對(duì)是物超所值的。事實(shí)上,第一性原理計(jì)算的學(xué)習(xí)非常耗時(shí)且難度較高,比如:

從理論學(xué)習(xí)到實(shí)際操作,以及大量的參數(shù)設(shè)置都會(huì)讓初學(xué)者望而卻步。

目前主流的第一性計(jì)算軟件均是基于linux操作系統(tǒng),這進(jìn)一步增加了學(xué)習(xí)成本。

若考慮更深層次的應(yīng)用,還需要掌握至少一種編程語(yǔ)言,和基本編譯方法,以獨(dú)立解決計(jì)算中遇見(jiàn)的各種問(wèn)題。以上困難使得非專(zhuān)業(yè)人士幾乎不可能獨(dú)立完成第一性原理的學(xué)習(xí)和計(jì)算工作,更難以獲得自己想要的數(shù)據(jù)。

為此北京邁高材云科技有限公司開(kāi)發(fā)的Matcloud+高通量材料集成計(jì)算平臺(tái)恰好提供了一個(gè)很好的入門(mén)及學(xué)習(xí)途徑。

MatCloud+無(wú)需編程基礎(chǔ),即可開(kāi)展高通量分子模擬和機(jī)器學(xué)習(xí)

無(wú)需學(xué)會(huì)復(fù)雜的linux操作,快速上手模擬計(jì)算。

通過(guò)組件化計(jì)算性質(zhì),拖拽式搭建工作流,點(diǎn)選式設(shè)置參數(shù),將晦澀難懂的參數(shù)設(shè)置轉(zhuǎn)換為了簡(jiǎn)單的點(diǎn)選式操作,非常友好的解決了上述問(wèn)題。

該平臺(tái)在第一性原理計(jì)算方面提供了VASP、QE等主流的計(jì)算軟件結(jié)構(gòu),非常適合初學(xué)者利用學(xué)習(xí)。該平臺(tái)還提供了晶體、分子數(shù)據(jù)庫(kù),有利于快速檢索需要計(jì)算的材料結(jié)構(gòu),同時(shí)還支持高通量計(jì)算,將人們從復(fù)雜的編程中解放出來(lái),將材料搜索和計(jì)算變得簡(jiǎn)單。

圖a MatCloud+平臺(tái)晶體數(shù)據(jù)庫(kù)界面

在材料制備中,摻雜是一種利用十分廣泛的材料改性方法,本次將就如何利用MatCloud+平臺(tái)的隨機(jī)取代組件做元素?fù)诫s的計(jì)算做介紹。以上文提到的氧化鉿為例,首先我們可以通過(guò)平臺(tái)的晶體庫(kù)找到合適的晶體結(jié)構(gòu)。如圖a所示,點(diǎn)擊左上角的“數(shù)據(jù)庫(kù)”按鈕,選擇晶體數(shù)據(jù)庫(kù),進(jìn)入數(shù)據(jù)庫(kù)界面,輸入HfO2后點(diǎn)擊“搜索”按鈕。我們選擇Pca2_1空間群的Hf4O8結(jié)構(gòu),然后點(diǎn)擊“導(dǎo)出選擇結(jié)構(gòu)”到結(jié)構(gòu)集、私有數(shù)據(jù)庫(kù)或者本地中,作為我們計(jì)算的結(jié)構(gòu)。如圖b所示。

圖b 數(shù)據(jù)庫(kù)搜索結(jié)果示意圖

隨后回到模擬界面,新建項(xiàng)目后命名,進(jìn)入項(xiàng)目,點(diǎn)擊“新建工作流”,在輸入控制欄中選擇“通用導(dǎo)入組件”將其用鼠標(biāo)左鍵拖至空白區(qū),并在建模中選擇“隨機(jī)取代”,拖入空白區(qū)域,并將二者鏈接起來(lái)形成工作流如圖c所示。

圖c 隨機(jī)取代項(xiàng)目流程圖

點(diǎn)擊“通用導(dǎo)入組件”右側(cè)的三個(gè)點(diǎn),選擇參數(shù)設(shè)置,選擇從“結(jié)構(gòu)集、私有數(shù)據(jù)庫(kù)或者本地導(dǎo)入”,如圖d所示,選擇之前我們從數(shù)據(jù)庫(kù)中選取的Hf4O8結(jié)構(gòu),導(dǎo)入并選擇。

圖d 通用導(dǎo)入組件參數(shù)設(shè)置

保存并退出后,類(lèi)似“通用導(dǎo)入組件”設(shè)置,打開(kāi)“隨機(jī)取代”的參數(shù),如圖f所示,我們假定利用Y取代Hf如圖f所示,設(shè)置完畢,退出并保存。之后點(diǎn)擊右上角的“提交”按鈕開(kāi)始計(jì)算。計(jì)算完成后點(diǎn)擊“查看結(jié)果”可以得到已經(jīng)搭建好的結(jié)構(gòu)模型。

圖f 隨機(jī)取代參數(shù)設(shè)置

以上就是建立取代摻雜結(jié)構(gòu)的方法,后續(xù)我們將學(xué)習(xí)如何通過(guò)已獲得的結(jié)構(gòu)進(jìn)行第一性原理計(jì)算,獲得所需的重要信息,并與實(shí)驗(yàn)結(jié)果相比較。

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