高度工程化精密電源轉(zhuǎn)換、測量和控制解決方案的全球領(lǐng)導(dǎo)者Advanced Energy Industries, Inc. (Nasdaq: AEIS)發(fā)布下一代穩(wěn)定和可重復(fù)的精密射頻功率電源系統(tǒng)，協(xié)助客戶在下一代半導(dǎo)體制造中實(shí)現(xiàn)最大化的產(chǎn)出和收益。

Advanced Energy面向埃米時(shí)代推出變革性的等離子功率控制技術(shù)（照片：美國商業(yè)資訊）

eVerest?射頻信號(hào)發(fā)生器專為埃米時(shí)代蝕刻和沉積工藝所需的精確等離子控制打造，能夠?qū)崿F(xiàn)高度可配置的多電平功率脈沖，從而集成到任何現(xiàn)有等離子功率輸送系統(tǒng)中并改進(jìn)這些系統(tǒng)。該平臺(tái)提供3至10千瓦的輸出功率和1至60兆赫的頻率，并能實(shí)現(xiàn)高達(dá)100千赫的高精度脈沖頻率。此外，本產(chǎn)品提供高速輸出設(shè)定值響應(yīng)、過渡狀態(tài)之間的受控過沖以及能訪問復(fù)雜物聯(lián)網(wǎng)數(shù)據(jù)生態(tài)系統(tǒng)的功能，協(xié)助制造商開發(fā)用于sub-2 nm沉積和蝕刻剖面的先進(jìn)、可重復(fù)工藝。

Advanced Energy負(fù)責(zé)等離子功率產(chǎn)品的高級副總裁Juergen Braun表示：“半導(dǎo)體行業(yè)的使命是經(jīng)由日漸小型化的芯片交付更高性能，而我們現(xiàn)下正邁向埃米時(shí)代，其中，日漸復(fù)雜的3D結(jié)構(gòu)和創(chuàng)新工藝可以實(shí)現(xiàn)原子精度級別的尺寸測量。四十多年來，Advanced Energy一直處于半導(dǎo)體行業(yè)工藝等離子功率輸送和控制系統(tǒng)的前沿。超10萬種現(xiàn)貨元器件，一件也發(fā)貨，來唯樣商城購正品~經(jīng)由不斷創(chuàng)新，我們得以保持這一領(lǐng)導(dǎo)地位，并滿足了埃米時(shí)代設(shè)備制造商對變革性高精度等離子控制的需求，繼而增加了工藝窗口，拓寬了穩(wěn)定的操作范圍，從而實(shí)現(xiàn)產(chǎn)出和收益最大化?！?/p>

eVerest是一個(gè)完整的射頻功率輸送系統(tǒng)，具有適用于阻抗匹配解決方案的多種選擇，并可與其他Advanced Energy的創(chuàng)新產(chǎn)品（例如eVoS?偏壓解決方案）實(shí)現(xiàn)智能同步，從而實(shí)現(xiàn)即時(shí)或用戶定義的過渡步驟時(shí)序控制，繼而優(yōu)化蝕刻和沉積動(dòng)力學(xué)。eVerest的高速射頻輸出響應(yīng)低于200μs，脈沖狀態(tài)上升/下降時(shí)間可低至2μs以下。動(dòng)態(tài)多級脈沖控制為能量狀態(tài)和分布開辟了各種新的可能性，而可編程過沖確保了可靠的點(diǎn)火，以及在具有較長脈沖關(guān)閉狀態(tài)的過程中重建等離子的能力。

當(dāng)與PowerInsight by Advanced Energy?物聯(lián)網(wǎng)數(shù)據(jù)生態(tài)系統(tǒng)集成時(shí)，基于eVerest的解決方案允許運(yùn)營人員訪問高清、高帶寬的嵌入式或系統(tǒng)級數(shù)據(jù)。這些數(shù)據(jù)提供了可操作的洞見，支持更快、更準(zhǔn)確的過程表征和故障排除，并且無需訪問等離子室安裝示波器，從而減少了停機(jī)時(shí)間。

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關(guān)于Advanced Energy

Advanced Energy Industries, Inc. (Nasdaq: AEIS)是為任務(wù)關(guān)鍵型應(yīng)用和流程設(shè)計(jì)和制造高度工程化精密電源轉(zhuǎn)換、測量和控制解決方案的全球領(lǐng)導(dǎo)者。利用Advanced Energy的電源解決方案，客戶能夠在半導(dǎo)體設(shè)備、工業(yè)生產(chǎn)、醫(yī)療和生命科學(xué)、數(shù)據(jù)中心計(jì)算、網(wǎng)絡(luò)和電信等廣泛行業(yè)的復(fù)雜應(yīng)用中進(jìn)行創(chuàng)新。憑借工程專業(yè)知識(shí)和為全球客戶提供快速響應(yīng)服務(wù)和支持，該公司建立緊密的合作伙伴關(guān)系以應(yīng)對科技的快速發(fā)展、推動(dòng)客戶的成長并為電源產(chǎn)品的未來持續(xù)創(chuàng)新。Advanced Energy總部位于美國科羅拉多州丹佛市，四十年來一直致力于提供盡善盡美的電源產(chǎn)品。