如今，越來越多的大型渦輪分子泵或低溫泵被用來代替油擴散泵系統(tǒng)，以防止油蒸氣污染。因此，這些年，國內(nèi)外渦輪分子泵得到了顯著的改進和發(fā)展。

與油擴散泵相比，渦輪分子泵具有啟動快、有機蒸汽污染少、真空極限高的特點。因此，分子泵被用作氦質(zhì)譜檢漏儀的高真空系統(tǒng)。即使檢漏儀不使用液氮冷陷阱，質(zhì)譜室也不會嚴重污染，能保持較低的背景或噪音，這樣可以提高氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度和穩(wěn)定性，延長離子源的使用壽命。

氦質(zhì)譜檢漏儀具有廣泛的質(zhì)量范圍，不僅可以檢測氦，還可以檢測其他氣體。分子泵排氣系統(tǒng)取代了擴散泵排氣系統(tǒng)，不僅解決了油蒸氣對質(zhì)譜室的污染問題，而且為快速啟動儀器和快速停機做出了巨大貢獻。

氦質(zhì)譜檢漏儀中沒有手動閥門，自動調(diào)節(jié)誤差。同時，渦輪分子泵被用來代替油擴散泵，以消除可能的油回流。計算機技術(shù)也應用于泄漏檢測器。操作、控制和輸出數(shù)據(jù)由計算機自動操作。典型的示波器已被陰線管顯示屏所取代。整個操作只需按下各種按鈕即可自動進行。也可以使用app遠程控制檢漏儀，并實時監(jiān)控檢漏儀顯示漏率。

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