疊氮有機化合物、偶氮鹽和偶氮有機化合物都可用作交聯(lián)劑，它們不僅能夠和聚烴類樹脂相配合組成負(fù)性光刻膠，而且還能和一些線型聚合物，如聚酰胺、聚丙烯酰胺等相配合制成負(fù)性光刻膠。

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在聚烴類光刻膠里添加的交聯(lián)劑以雙疊氮有機化合物較為重要；在和環(huán)化橡膠配合使用時，雙疊氮型交聯(lián)劑不帶極性基團，并且能夠溶解于非極性溶劑，如三氯乙烯和芳香烴等類型的芳香族雙疊氮化合物。這種交聯(lián)劑包括4,4'-雙疊氮二苯基乙烯（A）、4,4'-二疊氮二苯甲酮（B）、2,6-雙-(4'-疊氮芐叉)-環(huán)己酮（C）、2,6-雙-(4'-疊氮芐叉)-4-甲基環(huán)己酮（D）等，其結(jié)構(gòu)如圖所示。其中D的效果最為突出。感光時在交聯(lián)劑雙疊氮化合物作用下發(fā)生交聯(lián)成為不溶性高聚物。

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光刻膠AR-N 4340

光刻膠AR-N 4400

AR-P617 電子束光刻膠

電子束及深紫外光刻膠ma-N 2400系列

電子束光刻膠 CABL-9000C?

光刻膠SPR955系列 正性

電子束光刻膠 ma-N 2400 MR-EBL 6000系列

光刻膠 SPR 955

mr-EBL 6000系列 負(fù)性光刻膠

高聚物SU-8光刻膠

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瑞禧WFF.2022.6

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