Slivaco TCAD 小白系列- 5. ATLAS使用手冊(cè)簡論
嗨大家好我是丹丹,撇開年份不看,距離上次更新也才兩個(gè)禮拜多呀是吧哈哈(心虛)
總之這一年多經(jīng)歷了很多、很忙,例如從Slivaco跳槽到使用Sentaurus,最後直接跳到IC設(shè)計(jì),真的是一日三秋。好了廢話不多說,今天的主題是ATLAS使用手冊(cè)簡論。
對(duì)於許多軟件來說,用戶手冊(cè)(user manuel)都是最佳的學(xué)習(xí)資源或是參考資料。有的好的手冊(cè)可以當(dāng)教科書使用、差一點(diǎn)的能夠提供滿好的指引、當(dāng)成字典使用,所以請(qǐng)大家如果要鑽研一款軟件,記得去翻翻手冊(cè)。雖然大概率看不懂,但至少會(huì)有不少概念!
無論從網(wǎng)路上或是TCAD的安裝目錄中,或許都能找到ATLAS的使用手冊(cè)(搜尋:"ATLAS User's Manual")。
打開之後往下滑到目錄:

ATLAS手冊(cè)不太剛好地,比較像是字典。邏輯上直接用字典學(xué)習(xí)好像也不是壞事,但就生硬難懂點(diǎn),建議的使用方法為,多去看看半導(dǎo)體物理的書然後再來「使用」,當(dāng)然也可以從這份手冊(cè)上的各種模型進(jìn)行延伸學(xué)習(xí)、了解更多啦,都不排斥。
之於我,主要使用方法為,當(dāng)我看到一個(gè)新的參數(shù)或statement時(shí),會(huì)Ctrl+F搜尋,舉例來說:我搜尋"conmob",當(dāng)然,越常見的詞彙、條目會(huì)越多。找找看總會(huì)有個(gè)看起來要說明的段落、文章所在:

例如從上述表格我們就知道"conmob"代表「遷移率是受摻雜濃度控制的」,其實(shí)就是著名的圖表(取自施敏的半導(dǎo)體元件物理學(xué)):

接著,在文件的中後半,往往可以找到類似這種表格:

便知道這個(gè)參數(shù)預(yù)設(shè)值是多少。接著往上滑,就可以知道conmob這個(gè)參數(shù)是隸屬於哪個(gè)statement下:

再舉個(gè)例子,舉例來說我想找"a.btbt":

這參數(shù)名字夠奇怪,所以只有兩筆結(jié)果。從表格很明顯可以看出他隸屬於MODELS statement下,我們往上滑便可以看到:

原來他Kane Band-To-Band穿隧模型的公式參數(shù)。有時(shí)在文檔中也會(huì)說明甚麼縮寫是甚麼意思,有時(shí)會(huì)冷處理,有時(shí)會(huì)寫他就只是個(gè)參數(shù)而已。
如果我遇到名字很常見的那種參數(shù)就只能從幾百筆資料中慢慢看嗎?也未必,如果知道這個(gè)參數(shù)隸屬於哪個(gè)statement的話,可以回到目錄的Statement一章中直接點(diǎn)選該statement。例如我想知道Contact:

然後從Parameters一欄下去找:

該表格到底後會(huì)說明每個(gè)簡稱它的物理意義為何:

學(xué)好如何使用手冊(cè)就像學(xué)好如何使用釣竿,之後的路走起來會(huì)更順利的!
本回就先到這裡,下次我們就來看看如何分析與模擬SOI吧!